판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #293587661

NIKON NSR 2005 i10C는 칩 생산에 혁명을 일으킨 혁신적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 단계는 KLA-Tencor 도량형 장비를 기반으로 장치 기능을 반복합니다. 시장에서 가장 정확한 빔 모양, 크기 및 위치 제어 설정 중 하나 인 특허를받은 TII (Tapered Immersion Illuminator) 를 사용합니다. 스테퍼의 접촉 모드 스캔 기능과 4 차원 샘플 데이터 출력은 높은 수준의 정확도를 제공합니다. NIKON NSR 2005I10C에는 2 개의 수직 쌓인 렌즈 레이어가 있으며, 이를 통해 TII의 지수 및 하강 빔은 웨이퍼 및 레티클에 지시됩니다. "렌즈 '는 회전 하는 구형 의 표면 을 포함 하여" 웨이퍼' 에 "이미지 '를 생성 하기 위하여 광선 을 정확 하게 구부릴 수 있다. "렌즈 '는 또한 광선 의 기울기 를 조정 할 수 있는데, 이것 은" 와퍼' 위 에 "패턴 '의 정확 한 주사 와 영상 을 할 수 있게 해 준다. 스테퍼는 또한 1 차 초점의 경우 0.1 미크론, 2 차 초점의 경우 0.05 미크론의 정밀도로 높은 정확도 저하 및 확대를 특징으로합니다. NSR-2005I10C 는 고효율 프로젝션 렌즈 시스템을 제공합니다. 즉, 노출 시간 (2.5 초) 에 최대 10 단계 실행할 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 전통적인" 스테퍼' 보다 훨씬 빨리 스캔 된 "패턴 '에 노출 될 수 있음 을 의미 한다. 또한 공중 이미지 (Aerial Image) 범위가 넓습니다. 즉, 다양한 패턴이 여러 수준의 디테일에서 정확하게 생성 될 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 다양한 레티클 (reticle) 크기를 처리 할 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 니콘 NSR-2005I10C (NIKON NSR-2005I10C) 는 신뢰할 수 있는 도량형 장치 (Metrology Unit) 와 레이저 전원 및 노출 설정에 대한 전자 제어 덕분에 안정성이 높습니다. 또한 자동 빔 모양, 크기 및 위치 제어가 있으므로 이 스테퍼를 사용할 때 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 스테퍼는 유지 보수 요구 사항이 낮으며, 때때로 클리닝 (cleaning) 및 주기적으로 열 처리 (thermal process) 만 수행하여 최적의 성능을 보장합니다. 또한 TII 기계는 에너지 효율성이 매우 높아 에너지 비용을 낮출 수 있습니다. 결론적으로, NSR 2005I10C (NSR 2005I10C) 는 혁신적인 웨이퍼 스테퍼로, 고속 웨이퍼에 복잡한 패턴을 정확하게 생성 할 수 있습니다. 안정적이고, 유지 보수가 적으며, 효율성이 높아 칩 생산에 비용 효율적입니다.