판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10 #9243867

NIKON NSR 2005 i10
ID: 9243867
빈티지: 1993
Stepper 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i10 웨이퍼 스테퍼는 얇은 반도체 웨이퍼에서 매우 정확한 패턴을 생산하는 데 사용되는 고급 석판 시스템입니다. i10은 2 개의 라이트 빔 소스 (하나는 노출, 하나는 정렬) 를 사용하는 이진 스테퍼입니다. X-Y 방향에서 최소 0.5äm 정확도로 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있으므로 다양한 리소그래피 (lithography) 작업에 이상적입니다. 이 기계는 고급 광학, 소프트웨어 및 역학을 사용하여 정밀 작업을 수행합니다. 광학은 초장파 렌즈가있는 20 위치 렌즈 터렛 (20-position lens turret) 과 장거리 렌즈 (long working distance lenses) 로 구성되어 전체 웨이퍼에 대한 완전한 이미징 필드를 보장합니다. "i10 '은" 렌즈' 를 광범위 한 움직임 으로 움직 여 적합 한 노출 시간 을 확보 하여 정확 한 "이미지 '를 만든다. i10 은 리토그래피 프로세스의 프로그래밍과 빠른 데이터 액세스를 가능하게 하는 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스 (software interface) 를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 다양한 자동화 및 자동화 관련 옵션을 위해 다른 디지털 시스템의 연결을 지원합니다 (영문). 기계의 고급 역학 (Advanced Mechanics) 은 척의 웨이퍼를 정확하고 지속적으로 배치합니다. 이 제품은 독특한 공기/기계 베어링 시스템 (air/mechanical bearing system) 을 사용하여 웨이퍼가 부유하여 노출 시간 내내 웨이퍼가 제자리에 유지됩니다. 따라서 노출 시간이 매우 정확하고 전체 수익률이 향상됩니다. 또한 i10은 진동 및 기울기 오류를 줄이는 부드러운 스테핑 웨이퍼 드라이브 메커니즘 (smooth-steping wafer drive mechanism), 단단한 작업 공간을위한 컴팩트 디자인 하우징 (compact-design housing), 고해상도 노출을위한 컴퓨터 제어 노출 창 (옵션) 과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 이 조합은 i10을 가장 정확한 석판화 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다. 결론적으로 NIKON NSR-2005I10 웨이퍼 스테퍼는 가장 정확한 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 석판화 시스템입니다. 고급 옵틱, 소프트웨어, 메카닉을 제공하여 정확성과 최적의 노출 시간을 보장합니다. 폭넓은 기능 을 사용 하여, 엄밀 한 공간 에, 그리고 광범위 한 "응용프로그램 '에 사용 할 수 있다. 이 조합은 i10을 모든 석판화 작업에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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