판매용 중고 NIKON NSR 2005 G8C #293817947
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ID: 293817947
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.6
Resolution: 550 nm
DCO: 120
Throughput (WPH): 66.
NIKON NSR 2005 G8C는 레티클 및 반도체 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고급 석판 도구입니다. 그것은 큰 시야 (30mm x 24mm) 를 특징으로하며, 이는 전통적인 스테퍼보다 더 큰 레티클을 이미징 할 수 있습니다. G8C는 또한 높은 해상도의 높은 정밀 이미징을 허용하는 높은 수치 조리개 (NA) 를 갖추고 있습니다. G8C의 고급 이미징 기능은 가장 어려운 형상을 제조하고 복잡한 3D 구조를 만드는 데 적합합니다. G8C에는 레티클 및 웨이퍼의 고정밀 정렬을위한 초정밀 2 축 스캔 장비가 포함되어 있습니다. 따라서 이미지 품질을 저하시키지 않고 각 개별 레이어를 정확하게 정렬할 수 있습니다. G8C는 또한 멀티 필터 시스템 (multi-filter system) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 이미징 프로세스에 다양한 파장의 빛을 선택할 수 있습니다. 이렇게 하면 와퍼의 불투명 재료와 투명 재료를 가장 잘 대조할 수 있습니다. NSR 2005 G8C는 뛰어난 명암비 성능을 제공합니다. 고급 옵티컬 디자인을 활용하며 Digital Focus Expert Unit 및 Air Gap Illumination과 같은 독점 기술과의 대비를 향상시킵니다. 공기 간격 이미징 (Air Gap Imaging) 의 개선된 정확성은 매우 높은 수치 조리개와 함께 레티클과 웨이퍼의 수동 후처리가 필요하지 않습니다. NIKON NSR 2005 G8C에는 다양한 진공 펌프가 장착되어 있어, 높은 진공 환경에서 작동할 수 있으며, 최소한의 유지 보수로 탁월한 내구성과 안정성을 제공합니다. 또한 G8C에는 이미징을 시작하기 전에 레티클 (reticle) 과 웨이퍼 (wafer) 를 처리 및 배치하기위한 자동 단계가 포함되어 있습니다. 이를 통해 처리량을 저하시키지 않고 다중 레이어 프로세스의 정확성을 보장할 수 있습니다. 스테이지는 또한 최대 200 개의 다른 재료 및 레이어 두께에 대한 고급 기판 및 정렬 검출 (alignment detection) 을 할 수 있습니다. 전반적으로, NSR 2005 G8C는 매우 정밀하고 복잡한 구조를 효율적으로 제작하기 위해 고급 기능이있는 포괄적 인 석판화 기계 및 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 이 제품은 고해상도, 대형규모로 고급 반도체 장치 및 기타 복잡한 구조물을 제작하는 데 이상적입니다.
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