판매용 중고 NIKON NSR 2005 G8C #293665024

NIKON NSR 2005 G8C
ID: 293665024
Steppers.
NIKON NSR 2005 G8C는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. Si/SOI (실리콘 온 인슐레이터) 및 고급 광학 장치의 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 고도로 정확한 정렬 장비와 기타 첨단 기술 (Advanced Technologies) 은 웨이퍼가 가장 단단한 정밀도로 제작되도록 합니다. G8C는 대형 웨이퍼 (Wafer) 제작을 위해 대형 워퍼페이스를 갖춘 독특한 왕복 스테이지 디자인을 갖추고 있습니다. 고급 스테이지는 다양한 동작을 허용하며 2축 및 3축 동작을 모두 지원합니다. 스테퍼는 직경이 5 ~ 8 인치 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전체 시스템은 높은 정확성, 반복 가능성 및 안정성으로 설계되었습니다. 스테퍼에는 고속 자동 정렬도 있습니다. 이를 통해 연산자는 자동화된 정렬 장치를 사용하여 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 스테퍼는 자동 정렬 프로세스 중에 정렬 표시를 감지할 수 있는 고해상도 이미징 머신 (high resolution imaging machine) 을 제공합니다. G8C는 또한 NIKON 입증 된 5 빔 석판 도구를 사용합니다. 이 자산은 필요한 광학 컴포넌트의 수를 줄이고, 처리량이 높고, 정확도가 높은 패턴화를 가능하게 합니다. 5 배 감소 밴드 패스 필터는 균일 한 조명과 명확한 패턴을 제공합니다. G8C는 또한 고정밀 서보 모터 드라이브 (HPE) 를 갖추고 있어 정확성과 반복성이 높은 고속 패턴화가 가능합니다. 이 스테퍼는 또한 고출력 레이저 소스 (laser source) 를 특징으로하여 다양한 유형의 기판에 빠르고 정확하게 패턴을 적용 할 수 있습니다. 또한 레이저 (Laser) 는 G8C가 광범위한 임계 치수 범위에서 높은 종횡비 패턴을 정확하게 형성 할 수 있습니다. 이는 대용량 생산 작업에 이상적입니다. G8C의 고급 모델 아키텍처는 유지 관리 및 서비스를 용이하게 합니다. 이 장비는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 운영자가 초점 (focus), 용량 (dosage), 노출 (exposure) 과 같은 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 문제 해결을 쉽고 빠르게 수행할 수 있는 진단 유틸리티도 내장되어 있습니다. 전반적으로 NSR 2005 G8C 웨이퍼 스테퍼는 고급 웨이퍼 구성 요구 사항을 충족하는 안정적이고 강력한 솔루션입니다. 고급 기능과 기술로 "웨이퍼 (wafer) '는 최고 수준의 정확성과 정밀도로 제작된다. 또한, 직관적인 사용자 인터페이스, 내장 진단 프로그램 시스템, 고속 자동 정렬 기능을 통해 모든 제조 어플리케이션에 사용하기 쉽고 효율적인 컴퓨터입니다.
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