판매용 중고 NIKON NSR 2005 EX 12B #9316104

NIKON NSR 2005 EX 12B는 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 웨이퍼에 매우 작은 구성 요소를 만드는 데 사용됩니다. 기계 는 "포토리토그래피 '를 사용 하여, 원하는 집적 회로" 패턴' 을 만들기 위하여 회로 설계 가 들어 있는 "마스크 '를 통해" 웨이퍼' 를 빛 에 노출 시킨다. NIKON NSR 2005 EX12B는 이중 축 스테이지 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 0.4 미크론의 정확도로 웨이퍼 배치를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 추가 고급 단계 시스템 (advanced stage system) 은 평면 추적을 사용하여 웨이퍼가 동일한 광학 평면에 유지되도록 합니다. NSR 2005 EX 12B에는 full field, right-edged, image stitching, programmable zoom 등 다양한 스테퍼 시스템이 장착될 수 있습니다. 전체 필드 유닛 (full field unit) 을 통해 전체 웨이퍼 서피스를 완전히 노출 할 수 있으며, 오른쪽 모서리 머신은 노출 모서리를 보다 세밀하게 제어할 수 있습니다. 이미지 스티칭 도구 (image stitching tool) 는 여러 개의 개별 노출을 하나의 큰 샷으로 겹치는 데 사용할 수 있으며, 프로그래밍 가능한 줌 (zoom) 은 웨이퍼 가장자리 근처의 노출을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 NSR 2005 EX12B에는 고급 활성 정렬 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델은 웨이퍼 정렬을 지속적으로 모니터링하여 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 또한 정확한 에지 배치 (edge placement) 를위한 특수 알고리즘을 사용하여 노출을 정렬 할 때 오차 한계를 줄입니다. NIKON NSR 2005 EX 12B는 고해상도 수차 수정 시스템을 사용합니다. 이 장치는 고급 분리 가능한 렌즈 머신과 자동 교정 기능을 통해 수평 평평, B 상태, 타원성, 혼수 상태, 기타 왜곡, 곡률 및 필드 곡률 등 다양한 수차를 보상합니다. 마지막으로, 사용자 안전을 보장하기 위해 NIKON NSR 2005 EX12B에는 상태 모니터링 도구가 통합되어 있습니다. 이 자산은 온도, 압력, 진동 등 다양한 기계 기능을 모니터링하고, 이상이 감지되면 기계를 종료합니다. 전반적으로, NSR 2005 EX 12B는 혁신적이고 정확한 기술로, 복잡한 집적 회로 구조를 제조 할 수 있습니다. 첨단 스테이지 모델 (Advanced Stage Model) 과 액티브 정렬 장비 (Active Alignment Equipment) 는 정확하고 정확한 노출에 필요한 제어를 제공하는 반면, 수차 수정 시스템 및 상태 모니터링 장치는 일관된 결과와 안전을 보장합니다.