판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #9299962

NIKON NSR 1755 i7B
ID: 9299962
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Stepper, 6" 1994 vintage.
NIKON NSR 1755 i7B는 고급 반도체 프로세스에 완전한 리소그래피 솔루션을 제공하는 차세대 하이엔드 노출 도구입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 모듈식 플랫폼 장치로, 더 작은 설치 공간으로 설계되었으며 이전 모델과 비교하여 상당히 개선되었습니다. 세계에서 가장 낮은 왜곡으로 50% 더 큰 FOV (Field-of-View) 를 제공하여 고급 라인과 초저속 k1 리소그래피를 요구하는 데 이상적입니다. NIKON NSR-1755I7B는 165mm의 소형 플라즈마 제트 소스를 특징으로하며, 대형 필드 (FL) 및 팬 모양 (fFL) 렌즈를 통해 고효율 노출이 가능합니다. 이를 통해 기존 시스템에 비해 모델의 크기가 줄어들었고, 뛰어난 이미징 품질을 보장할 수 있는 대규모의 균일성 (unifority) 과 높은 반복성 (repeatability) 을 갖춘 업계 최고의 성능을 제공합니다. NSR 1755 i7B에는 직관적인 작동이 가능한 고해상도 10.4 인치 대형 화면 터치 패널 디스플레이가 있습니다. 이 제품은 복잡한 프로세스와 기판을 다루는 경우에도 화질과 안정성을 향상시키는 첨단 비전 컨트롤 (vision control) 기술을 갖추고 있습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼는 AI 구동 이미징 제어, 고정밀 정렬을위한 자동 초점, TTLRS2 바닥 반전 방지 기능, 기판 온도 측정 기능 및 스테이지 왜곡 수정 기능과 통합됩니다. 이러한 기능은 뛰어난 이미징 품질을 통해 높은 처리량을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼는 고속, 0.6mm/s의 데이터 포인트, 3G의 가속/감속 속도를 특징으로하여 노출 시간이 짧고 처리량이 향상됩니다. 또한, 이 장치의 고속 데이터 시스템은 처리량을 더욱 향상시키고, 효율적인 성능을 제공합니다. 이 장치는 레이어 두께 및 트랙 너비 40nm ~ 450nm 제조에 대한 광범위한 응용 프로그램에 최적화되었습니다. NSR-1755I7B 는 전력 소비량이 적고 소음이 적어 환경 친화적인 성능을 제공합니다. 교체 가능한 스팟 소스는 시스템의 수명을 연장하고, 유지 관리 간격을 늘려, 사용자 부담을 줄입니다. 또한, 개방형 시스템 아키텍처는 임원, 확장성, 유연한 옵션을 제공합니다. 또한 패턴 등급 (pattern rating) 소프트웨어와 호환되며 비용 효율성을 위해 Digital Imprint 모듈을 통해 향상된 기능을 제공합니다. 전반적으로 NIKON NSR 1755 i7B 는 강력한 웨이퍼 스테퍼로서, 뛰어난 이미지 품질과 향상된 처리량을 제공하며, 사용자 부담을 줄여줍니다. 인체 공학적으로 설계되고, 효율적이며, 환경 친화적이며, 고급 반도체 프로세스에 적합한 훌륭한 리소그래피 도구입니다.
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