판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #9279749

ID: 9279749
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6" Wafer type: Flat Wafer loader type: Type I Leveling system: Claw sub-system Arm Main body with chamber Monitor RA Microscope Reticle loader: Mask, 5" Arm Reticle library: Single film 13-Slot Wafer stage: Chuck, 6" LC Mirror.
NIKON NSR 1755 i7B 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 생산을 위해 향상된 제작 기능을 제공하기 위해 설계된 고성능 석판화 장비 시리즈입니다. 이 시스템은 4 세대 스캐너, 완전히 통합 된 석판화 제어 시스템, 고급 석판화 프로세스 제품군을 갖춘 전체 기능의 석판화 플랫폼입니다. 특허를 획득한 2 단계 아키텍처를 활용하여 높은 오버레이 정밀도 및 결함 감지 기능을 제공합니다. NIKON NSR-1755I7B에는 정확한 초점, 기능 인식 및 웨이퍼 정렬을 제공하는 고급 옵틱이 장착되어 있습니다. 광학은 또한 연장 된 작업 거리와 낮은 가파른 (가파른) 에 최적화되어 수차로 인한 인공물이 없습니다. 고급 석판화 플랫폼 (Advanced Lithography Platform) 은 10ms 정도의 노출 시간을 제공할 수 있으며, 뛰어난 이미지 품질을 유지하면서 처리량을 높일 수 있습니다. NSR 1755 i7B는 IPG (Impulsive Pattern Generator), MCE (Multi-Circle Exposure) 및 SMA (Scan Matching Algorithm) 와 같은 NIKON 대부분의 고급 리소그래피 알고리즘으로 사전 구성됩니다. 이러한 알고리즘을 사용하면 노출 리소스를 최적으로 사용할 수 있으므로 처리 시간이 단축됩니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 가장 빠른 패턴 인식 시간을 제공하여 기판 청소 시간을 줄이고 높은 수율 수준을 보장합니다. 또한 NSR-1755I7B 에는 안전하고 안정적인 웨이퍼 추적 및 조립/검사 데이터 (assembly/inspection data) 를 제공하는 통합 로트 관리 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 매우 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 리소그래피 (lithography) 작업을 단순화하고 최적의 프로세스 제어를 보장합니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 대용량 (high-volume) 과 하이믹스 (high-mix) 반도체 생산을 위해 설계되었으며, 광범위한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. NIKON NSR 1755 i7B는 고급 리소그래피 프로세스를 위한 정확한 직접 쓰기 및 정렬 기능을 제공합니다. 높은 속도와 정확성으로 인해 대용량 (high-volume) 생산에 이상적이며, 고급 (advanced) 기능은 복잡한 장치 패턴화에 적합합니다. 마지막으로, 이 기계는 또한 신뢰성이 높고 사용자 친화적이며, 전 세계 리소그래피 기관에게 인기있는 선택입니다.
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