판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #9250066
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ID: 9250066
빈티지: 1993
Stepper
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L + R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1993 vintage.
NIKON NSR 시리즈 1755 i7B는 정확도, 성능 및 세련된 optic을 결합한 미드엔드 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 고속 튜닝, 신속한 노출 시간, 기타 여러 기능을 통해 주기 시간 (cycle time) 을 줄이고 처리량을 가속화하기 위해 설계되었습니다. 노출 면적이 455 x 455mm인 17 인치, 4K 해상도 LCD 디스플레이가 있습니다. 내부 광학 시스템에는 향상된 수차 (depth-of-field) 및 수차 (close-in) 수정을 제공하는 NIKON CFI60 기술이 장착되어 있습니다. 넓은 수치 조리개는 또한 고해상도 이미징을 지원합니다. NIKON NSR 시리즈 1755 i7B는 고정밀 인코더를 사용하여 투사 렌즈의 잘못된 정렬을 감지하고 수정하는 클로즈드 루프 (closed-loop) 스테퍼 제어 시스템 때문에 안정성이 높고 정확하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 또한 렌즈 온도 드리프트로 인한 프로세스 변화를 줄이는 통합 TCCS (Total Concentration Control System) 를 갖추고 있습니다. "스테퍼 '는 정밀 한 용량 과 초점 조절 을 할 수 있으며, 모든 노출 을 통해 보증 된" 웨이퍼' 결과 를 가져온다. 이 스테퍼는 다양한 석판화 (lithography) 및 저항재 (resist materials) 와 가변 초점 (focus) 및 용량 (dose) 옵션을 지원하여보다 효율적인 처리를 지원합니다. NIKON NSR 시리즈 1755 i7B는 뛰어난 이미징이 필요한 어셈블리 수준의 운영 및 칩 앤 본드 (chip-and-bond) 애플리케이션에 적합합니다. 소형 설계 및 원격 기능은이 스테퍼를 공장, 조립 라인 (assembly line) 및 연구 실험실에서 사용하는 데 특히 적합합니다. 스테퍼는 사용자 안전 (User Safety) 과 인체공학을 염두에 두고 설계되었으며, 고급 (Advanced) 기능은 안정적이고 효율적인 생산 주기를 제공합니다. 또한 오픈 소프트웨어 플랫폼을 통해 타사 툴을 완벽하게 통합하여 효율성을 높일 수 있습니다. 전체적으로 NIKON NSR 시리즈 1755 i7B는 안정적이고 효율적인 자동 스테퍼로, 뛰어난 화질 이미징 및 생산 속도를 제공합니다.
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