판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #9165599

NIKON NSR 1755 i7B
ID: 9165599
웨이퍼 크기: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1755 i7B 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 정렬 및 리소그래피 (lithography) 를위한 탁월한 프로세스를 제공하여 반도체 제조 산업에 혁명을 일으키는 획기적인 도구입니다. 스테퍼에는 스캐닝 전자 빔 디플렉터 (Scanning Electron-beam Deflector) 가 있으며, 디플렉션 정확도는 0.6 km, 최대 스캔 속도는 1.5 kHz이며 뛰어난 프로세스 안정성과 이미지 품질을 제공 할 수 있습니다. 7축, 2- 열 시스템은 또한 정렬 정확도를 0.7 ° m 이내로 보장하며, 웨이퍼가 가장 높은 정밀도와 정렬되도록 일관되게 보장합니다. 모터 드라이버 인 디플렉션 축 스캐닝 (In-Deflection Axis Scanning) 을 사용하면 나노미터 레벨 스캔을 위해 단일 웨이퍼 단계를 매우 정확하게 직접 드라이브를 제어할 수 있습니다. 또한 높은 효율성으로 웨이퍼 당 1.5 초의 빠른 주기 시간이 가능합니다. NIKON NSR-1755I7B의 업계 최고의 해상도는 0.33 jm이며, 일반적인 기존 웨이퍼 스테퍼 범위의 거의 2.6 배에 달합니다. 이 해상도는 웨이퍼 기판의 고밀도 트랜지스터 패턴으로 포토 마스크 패턴을 정확하게 정렬하도록 쉽게 구현 할 수 있습니다. 이 기기에는 X-Y 스테이지의 X 및 Y 축에 대해 각 웨이퍼를 자동으로, 정확하게 중앙에 배치하는 자동 4 축 중심 프로그램이 장착되어 있습니다. 이 중심 프로그램은 구멍 또는 정렬 표시가없는 최대 8 인치 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 수동 및 반자동 중심을 모두 수행하도록 프로그래밍할 수 있습니다. NSR 1755 i7B 는 데이터 캡처, 웨이퍼 이미지 처리, 정렬 절차, 반복 정확도와 같은 프로세스를 사용자 정의하고 최적화할 수 있는 오픈 인터페이스 소프트웨어를 제공합니다. 또한 이 소프트웨어는 Wafer 및 Photomask 프로세스를 단순화하는 그래픽 기반 운영 환경도 제공합니다. 전반적으로 NSR-1755I7B는 웨이퍼 정렬의 탁월한 정확성을 제공하는 혁신적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 일관성 있는 고해상도 이미징을 제공하여 주기 단축, 수율 향상, 성능 향상 등의 효과를 제공합니다.
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