판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #9160458

NIKON NSR 1755 i7B Wafer Stepper는 주로 마스크 및 레티클 레벨 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 몰입 리소그래피 이미징 장비입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 항정적 솔더 범프 이미징 기술을 갖추고 있으며, 가장 작은 솔더 범프의 미세한 세부 3D 이미징 생산을 가능하게합니다. 이 시스템에는 82um의 고해상도 카메라가 장착되어 있어 반도체 칩을 초고밀도 설계 규칙으로 제조할 수 있습니다. 또한, 축상 정렬 기능은 최대 정렬 정확도를 보장하며, 다이 처리량을 증가시킵니다. NIKON NSR-1755I7B 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 레티클 (reticle) 이라는 마스터 패턴을 만드는 데 사용되며, 이미지를 웨이퍼로 전송하는 데 사용됩니다. 이 장치는 25.4mm 레티클 필드 영역 (reticle field area) 을 갖추고 있으며, 대형 노출 필드의 정확한 이미징과 메모리 칩과 같은 소형 마이크로 장치의 높은 정밀 이미징이 가능합니다. "레티클 '은 보통 석영 으로 만들어져" 웨이퍼' 로 "이미지 '를 옮기는 데 매우 효율적 이 된다. 이 기계는 패턴의 다이 (die) 경계를 자동으로 감지하면서 포커스 평면의 결함을 모니터링, 수정하는 고급 자동 초점 제어 (advanced auto focus control) 를 갖추고 있습니다. 이 도구는 단단한 설계 규칙과 높은 수율로 생산에 이상적입니다. NSR 1755 i7B Wafer Stepper는 까다로운 운영 조건에서 효율성과 안정성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 고속 레이저 투사 자산을 통해 시간당 최대 4,500 개의 웨이퍼 (최대 1.6GHz 의 처리량) 가 가능합니다. 이 모델에는 각 샷에 대한 노출 조건을 최적화하고, 웨이퍼 간의 처리량 및 균일성을 높이는 제어 장비 (Control Equipment) 가 있습니다. 이 제어 시스템은 또한 노출 시간, 용량, 초점을 최적화할 수 있으며, 절대적인 프로세스 제어 및 안정성을 제공합니다. NSR-1755I7B 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 웨이퍼 레벨 이미징을 위한 완벽한 솔루션으로 높은 처리량, 뛰어난 균일성 및 안정적인 결과를 제공합니다. 고급 이미징 기능과 최적화 된 조명을 갖춘 강력하고 고성능 유닛으로, 정확성과 균일성을 갖춘 탁월한 다이 투 다이 (die-to-die) 패턴을 제공합니다. 첨단 자동 초점 제어 (Auto Focus Control) 를 통해, 우수한 초점 평면 안정성을 보장하고이 기계를 현대 반도체 산업의 고해상도 (High-Resolution) 요구에 맞게 완벽한 선택으로 만듭니다.