판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #293817949
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ID: 293817949
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.54
Resolution: 550 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 63.
NIKON NSR 1755 i7B 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 장치 제작에서 고급 웨이퍼 레벨 리소그래피를 위해 특별히 설계된 기계입니다. 이 회사는 NSR-i (NIKON Scanning & Resolution) 시리즈의 최신 고급 시스템입니다. 이 고급 장비는 시간당 최대 2000개의 (250mm) 웨이퍼, FOUP/TOP 로딩 용량 2000 FOUP, 최소 기능 크기 2.5nm, 숫자 또는 전용 카메라 및 7 "실리콘 웨이퍼 스테핑을 제공합니다. 이것은 복잡한 마이크로 소형화 장치의 생산에 이상적인 선택입니다. NIKON NSR-1755I7B의 주요 구성 요소에는 고해상도 스캐너, 필드 선택기, 마스크 정렬기 및 웨이퍼 전송 챔버가 포함됩니다. 고해상도 스캐너 (High Resolution Scanner) 를 통해 시스템은 매우 작은 피쳐 크기를 생성하고 다른 경쟁 시스템 (Competing Systems) 의 일부 시간에 복잡한 구조를 이미지화할 수 있습니다. 필드 셀렉터 (Field Selector) 는 고품질 이미징을 위한 고장력 (High Field Strength) 과 넓은 영역 구조의 빠른 이미징을 위한 낮은 필드 강도 (Low Field Strength) 형태의 유연성을 제공합니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 완벽한 마스크 정렬을 보장하며, 마스크 수준을 폭넓게 선택하여 개발 비용을 최소화합니다. 웨이퍼 전송 챔버는 고급 로드 포트 메커니즘과 효율적인 보안 조치로 설계되었습니다. 또한 NSR 1755 i7B 는 고급 성능 향상 소프트웨어 패키지를 지원하므로 사용자가 정확도, 속도, 생산성을 높일 수 있습니다. 이 소프트웨어 인터페이스는 웨이퍼 분석, 통계 프로세스 제어 및 신속한 장치 설정 도구를 제공합니다. 또한 라이브 그래픽 (live graphics) 및 통계 프로세스 제어 데이터를 제공하는 모니터링 기능을 제공합니다. 이 기계는 높은 정확도, 견고한 구조, 품질 구성 요소 및 지원으로 제조됩니다. 안전성과 첨단 제조 기술 (Advanced Manufacturing Technology) 이 내장된 이 도구는 뛰어난 성능, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. 다양한 맞춤형 기능을 갖춘 NSR-1755I7B 는 고급 소형화 (micro-miniaturization) 및 복잡한 장치 구조의 생산에 이상적인 선택입니다.
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