판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #293643226

NIKON NSR 1755 i7B는 I 라인 스캔 장비를 사용하는 웨이퍼 스테퍼로, 최대 13 인치 웨이퍼 크기까지 리소그래피에 사용할 수 있습니다. 높은 처리량 (Throughput) 및 다중 노출 (Multiple Exposure) 기능을 통해 높은 정확도와 신뢰성을 지닌 정밀한 장치 패턴화를 구현할 수 있습니다. NIKON NSR-1755I7B 는 조명 (lumination) 및 투영 광학을 사용하여 전체 분야에 걸쳐 균일 한 강도 분포를 제공합니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 이중 빔 투영 시스템을 사용하여 노출 사이의 이미지 크리티컬 영역에서 안정적인 겹침 마진을 제공합니다. 이렇게 하면 조명 에너지, 온도, 조명 영역 등, 노출 조건이 달라질 때에도 정확한 패턴화가 가능합니다. NSR 1755 i7B 는 정확한 노출 상태를 모니터링하고 유지하도록 설계된 '노출 제어 장치' 를 갖추고 있습니다. WFPEC (wavelength-focal plane programmable exposure control) 머신을 장착하여 조명이나 기판의 약간의 차이를 설명하기 위해 노출 조건을 조정할 수 있습니다. 이 도구는 MKEC (Multi-Power Kinetic Energy Control) 에셋을 사용하여 정확하고 반복 가능한 패턴을 쉽게 만들 수 있습니다. NSR-1755I7B에는 진동이없는 진동 격리 모델 (VVIS) 도 장착되어 있습니다. 이 장비는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에 외부 진동이 미치는 영향을 최소화하고 열 드리프트 (thermal drift) 가 거의 없는 안정적인 이미지 품질을 보장합니다. 진동 분리 시스템 (Vibration isolation System) 은 고유 한 온도 조절 장치 (Temperature Control Unit) 로 복합되어 급격한 온도 변화로 인한 열 팽창의 영향을 최소화합니다. NIKON NSR 1755 i7B는 매우 정확하고 반복 가능한 패턴을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. WFPEC (Wavelength-Focal Plane Programmable Exposure Control), MKEC (Multi-Power Kinetic Energy Control) 및 안정적이고 안정적인 노출 조건과 정확한 장치 패턴을 보장하도록 설계된 VVIS (Vibration-Free Vibration isolation Isolation mach) 가 특징입니다. 탁월한 기능과 더불어 NIKON NSR-1755I7B 는 업계 최고의 무상수리 서비스와 만족도 높은 사용자들의 높은 평가를 받습니다.