판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #293635403
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ID: 293635403
웨이퍼 크기: 2"
Stepper, 2"
Type1 Wafer loader
Flat wafer type
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Hole
Carriers: Left, right
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517A Laser
Electric source:
NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Chamber:
Type: ASAHI
Size: 1500 mm
Temperature: 23°C
OF Detection: OMRON
No in-line
Variable reticle microscope
Reticle, 5"
FIA
NIKON Reticle library, Slot-13
No PPD / PD
Rack type: Right
PDP11 / 73 PC
LSA Laser: 5 mW
Lamp power: 1 kW.
NIKON NSR 1755 i7B는 반도체 생산의 고급 사진 해설을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 12 인치 크기의 웨이퍼 (Wafer) 를 다양한 수준의 정확도와 해상도로 처리 할 수있는 완전 자동화, 디테일 지향 기계입니다. 수직 정렬 장비를 갖춘 NIKON NSR-1755I7B 스테퍼는 잘못된 정렬을 제거하면서 탁월한 정밀도로 위치를 정확하게 조정하고 유지합니다. 또한 NSR 1755 i7B 는 뛰어난 성능과 함께 정확한 노출 제어를 제공하는 높은 변속기 irradiator 를 갖추고 있습니다. NSR-1755I7B는 높은 처리량과 정확한 제어를 통해 안정적인 리소그래피 생산도 제공합니다. 다양한 호환 가능한 노출 패턴 (Compatible Exposure Pattern) 이 있어 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 정렬 알고리즘은 정확한 이미지 등록을 보장하며, 에지 정렬, 등록, 포커싱 (focusing) 과 같은 내장 기능을 통해 뛰어난 리소그래피 정확도를 제공합니다. 이 스테퍼는 또한 자동 초점 시스템 (autofocus system) 및 수차 수정 장치 (aberration correction unit) 와 같은 다양한 고급 도구를 갖추고 있습니다. 또한 NIKON NSR 1755 i7B 에는 운영, 데이터 관리 및 분석을 용이하게 하는 직관적인 제어/인터페이스 장치가 장착되어 있습니다. 모든 설정 (setting) 과 조정 (adjustment) 은 전문 운영자의 요구 없이 쉽게 구현할 수 있습니다. 포함 된 X-Y 선형 모터는 정확한 photomask 변환을 촉진하는 반면, 자동 교정기는 높은 정렬 정확도를 유지합니다. 마지막으로, NIKON NSR-1755I7B 는 새롭게 설계된 이미지 처리 툴을 사용하여 보다 전통적인 Optic 에 비해 뛰어난 패턴 해상도를 제공합니다. 마이크로 프로세서 (micro-processor) 및 소프트웨어 알고리즘은 매우 정확하고 정확한 스캔을 보장하므로 웨이퍼 재생산 품질이 뛰어납니다. 다양한 기능과 첨단 기술이 적용된 NSR 1755 i7B 는 반도체 생산을 위한 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다.
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