판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7B #293619990

NIKON NSR 1755 i7B 웨이퍼 스테퍼는 최첨단 프로젝션 포토리토그래피 머신으로, 기능 크기가 몇 나노미터까지 낮아진 장치를 제작하는 데 사용됩니다. 이 도구는 EBR (Exposure Beam Route) 에서 처리 된 각 웨이퍼의 정렬 및 기판 편평성을 지원하는 직접 드라이브 6 필드, 단일 파장 리소그래피 도구입니다. NIKON NSR-1755I7B는 고급 투사 렌즈, REX (Reflection Objective) 및 듀얼 링 동질화를 사용하여 마스크 왜곡 성능이 우수합니다. 이 장비는 프로그래밍 가능한 단계, XYZ 웨이퍼 이동 및 초점 탐지 (focus detection) 를 포함하여 업계 최고의 도량형 제품군을 갖추고 있으며, 중요한 계층에 대한 정확한 저항 개발 및 패턴을 제공합니다. NRK 1755 i7B는 또한 오프 축 조명, 정렬 모델에 의해 생성 된 패턴, 원활한 자동 정렬과 같은 혁신적인 이미징 기술을 지원합니다. 대화식 노출 명령 시스템 (Interactive Exposure Command System), 개발자 최적화 (Developer Optimization) 및 웨이퍼 온도 제어 (Wafer Temperon Control) 를 통합하여 전체 프로세스를 쉽게 관리할 수 있습니다. 스테퍼는 신뢰할 수 있으며 두꺼운 기판에서 고품질 장치 제작을 지원합니다. 이 장치는 FPGA (Field Programmable Gate Array) 를 사용하여 짧은 Reticle to Reticle 노출 사이클을 보장하며, 전자기 스캐너 헤드 기술을 통해 저렴한 자동 노출 조건 설정이 가능합니다. 정확도가 높은 스테퍼 모터 제어 기계는 작동 중에 안정적인 노출 용량을 생성합니다. 현장 결함 관리 도구에는 레이저 패턴 스캐너, 결함 모니터, mid-field 결함 모니터가 포함되어 있습니다. 공기갑 (air-gap) 결함을 감지할 수 있으며, 이미지 처리 엔진은 결함 모니터에서 가져온 이미지를 터치 패널에 표시합니다. NSR 1755 i7B는 또한 결함 검토를 수행하는 결함 검토 (DefectReview) 소프트웨어와 함께 검사된 웨이퍼의 비정규 데이터를 수집하는 ImagePLUS 센서 자산을 지원합니다. 또한 자동 정렬 (AutoAlign) 모델을 지원하며, 이는 투사 노출을 수행하면서 패턴 정보를 신속하게 획득하여 웨이퍼 등록을 신속하게 조정할 수 있습니다. 결론적으로, NSR-1755I7B 웨이퍼 스테퍼는 신뢰할 수 있는 최첨단 프로젝션 사진 분석기로, 기능 크기가 몇 나노미터까지 낮아진 장치를 정확하게 제작할 수 있습니다. 광범위한 이미징 기술을 지원하며 업계 최고의 도량형 제품군 (Metrology Suite), 대화형 노출 장비 (Interactive Exposure Equipment) 및 자동 정렬 도구를 갖추고 있습니다.