판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9302607

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ID: 9302607
빈티지: 1992
i-Line stepper Reticle, 5" Reduction ratio: 1:5 Expose field: 17.5 Resolution: 0.45 NA: 0.5 Global alignment: 0.18 um 1992 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper는 반도체 생산을 위해 설계된 최첨단 기계입니다. 이 기계는 NIKON 고급 노출 기술 (Advanced Exposure Technologies) 을 활용하여 한 번에 여러 칩을 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 스테퍼는 최신 노출 장비 (즉, i7A) 와 위치 정확도를 향상시키는 인라인 정렬 시스템 (In-Line Alignment System) 을 통합하고 다중 축 관리 장치 외에 고급 패턴 기술 (Patterning Technology) 을 제공합니다. 이 기계의 고급 패턴화 기술 (Advanced patterning technology) 은 여러 칩을 동시에 정밀하게 등록 할 수있는 독점 정렬 기계를 특징으로합니다. 이로 인해 처리 시간이 크게 단축되고 인적 오류가 최소화됩니다. 스테퍼에는 정렬 정확도가 0.02m인 고해상도 RA (Reticle Alignment) 정렬 도구가 있습니다. 이것은 최고의 오버레이 웨이퍼가 웨이퍼되고 칩에 칩이되도록 보장합니다. 또한 고급 프로세스 제어에 Z 레벨 (Z-Level) 보상이 내장되어 있어 최고 품질의 장치를 제공합니다. NIKON NSR 1755I7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 또한 고유 한 모듈 기술을 제공하여 단계 및 스캔 모드 모두에서 정밀도 및 웨이퍼 패턴을 수행 할 수 있습니다. 이 시스템의 고유 한 모듈 (module) 기술을 사용하면 5 ~ 10nm 정도의 좁은 라인 프로세스 패턴을 브리지할 수 있습니다. 즉, 기존의 스텝이 달성 할 수있는 것보다 훨씬 빠릅니다. 또한 단계 반복 가능성이 < 0.5nm 인 넓은 단계 범위 인 0-4um을 통합합니다. 또한 스테퍼에는 뛰어난 패턴 정확도를 허용하는 광학 이미징 (optical imaging) 자산이 포함되어 있습니다. NSR-1755I7A Wafer Stepper에는 포괄적인 통신 모델이 있어 원격 모니터링 및 제어가 가능합니다. 스테퍼는 자세한 매개변수 설정을 제공하는 직관적인 사용자 인터페이스와 통합됩니다. 또한, 이 장비는 다양한 프로세스 및 운영 상태 데이터 (Operating Status Data) 를 제공하여 운영자가 즉석에서 프로세스를 모니터링, 분석, 제어할 수 있습니다. 이 기계는 또한 실시간 실행 가능한 좌표를 특징으로하여 전체 프로세스 동안 오류를 줄입니다. NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper는 프로덕션 팀의 새로운 구성원을 가르치고 훈련하기위한 포괄적 인 진단 기능을 갖추고 있습니다. 또한 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 통해 비용을 절감하고 일관된 성능과 최적의 출력을 보장할 수 있습니다. 전체적으로 NSR 1755 I 7 A Wafer Stepper는 정밀도 및 대용량 생산에 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 최신 기능과 기술을 갖춘 NIKON NSR-1755 I 7 A Wafer Stepper는 최신 반도체 제조 작업에 이상적인 솔루션입니다.
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