판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9299961

NIKON NSR 1755 i7A
ID: 9299961
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1991
Stepper, 6" 1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 마이크로 프로세서 산업에 사용되는 웨이퍼에 매우 작은 회로 구조를 만드는 고정밀 도구입니다. 최대 300mm 직경의 기판을 이미징 할 수있는 풀 필드 이미징 (full-field imaging) 장비입니다. 시스템은 자동 정렬, 정렬, 오버레이가 가능한 업데이트된 I-Line 스테퍼 장치를 사용하여 고성능 수율을 보장합니다. NIKON NSR 1755I7A 웨이퍼 스테퍼에는 2 개의 높은 수치 조리개 투사 목표가 포함 된 고해상도 풀 필드 투영 시스템이 있습니다. 투영 목표는 회절을 줄이고 전자 빔 (electron beam) 의 고해상도 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 투영 도구 (projection tool) 에는 패턴의 대비를 증가시키는 고급 광학 에셋이 있습니다. NSR-1755I7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 모든 이미지에서 높은 정확성과 정확도를 제공하는 고급 활성 정렬 모델도 있습니다. NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper는 또한 선택할 수있는 2 개의 빔 소스를 선택할 수 있습니다. 전자 빔 소스 및 i-line 레이저 소스. 전자 빔 소스는 웨이퍼 표면에서 매우 작은 기능을 생성 할 수 있습니다. 빔 스팟 크기는 가변적이며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 최적화될 수 있습니다. 반면 에, "아이라인 레이저 '소스는 메모리 칩에 들어 있는 것과 같은 더 큰 기능을 이미징할 수 있다. NSR 1755 i7A Wafer Stepper는 또한 안전 및 환경 고려 사항을 고려하여 설계되었습니다. 안전하고 효율적인 작동을 가능하게하는 고급 통풍 장비가 특징입니다. 이 시스템에는 고급 안전 기능 (예: 내장 경고 장치) 도 포함되어 있으며, 이 기능은 비상 사태의 경우 기계의 작동을 자동으로 중지합니다. 오염 제어 도구는 프로세스에 안전하고 깨끗한 환경을 제공합니다. NSR 1755I7A Wafer Stepper는 또한 고속 이미지 처리를 통해 정확한 이미지 캡처 및 처리 기능을 제공합니다. 자산은 또한 고급 디스크 기반 데이터 스토리지 (DAS) 모델을 통합하여 데이터의 신뢰성과 보안을 보장합니다. 이 장비는 최대 200GB 의 데이터를 저장할 수 있으며, 표준 19 인치 랙에 장착할 수 있을 정도로 컴팩트합니다. 전반적으로 NSR-1755 I 7 A Wafer Stepper는 마이크로 프로세서 제작을 위해 특별히 설계된 고급 이미징 시스템입니다. 최대 300mm 직경의 기판을 이미징 할 수있는 풀 필드 이미징 장치 (full-field imaging unit) 입니다. 회절을 줄이고 전자 빔의 고해상도 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 고급 활성 정렬 머신은 캡처된 모든 이미지에 대해 높은 정확도와 정확도를 제공합니다. 또한이 도구는 두 가지 빔 소스 중 하나를 사용합니다. 전자 빔 소스 및 i-line 레이저 소스.
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