판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9279743

NIKON NSR 1755 i7A는 고급 풀 필드 스캐닝 웨이퍼 스테퍼로, 300mm (12 인치) 웨이퍼에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 스캐너는 저용량에서도 높은 수준의 오버레이 및 CD (임계 크기) 정확도를 제공하기 위해 개발되었습니다. NIKON NSR 1755I7A에는 7 인치 오브젝티브 렌즈가 장착되어 있으며, 정확한 정렬 및 등록을 위해 쿼드라 정렬 센서 및 프로그래밍 가능한 포토 다이오드 어레이를 포함하여 양면 정렬 마크 인식 장비가 있습니다. 향상된 카메라 디자인은 향상된 반음계 수차 제어 및 뛰어난 해상도를 제공합니다. NSR-1755I7A (Advanced Magnetic Flux Analysis System) 는 고급 자기 선속 (Magnetic Flux) 시스템을 탑재하여 고급 노드 및 메모리 노드와 같은 다양한 리소그래피 프로세스에 대한 높은 수준의 노출 제어 및 빠른 오버레이 정렬 기능을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 '하향식 (bottom-up)' 구성 장치를 특징으로하며, 이는 하향식 노출로 인한 광학 및 기계적 불안정성을 보완하기 위해 최대 초점을 지원합니다. 또한 NIKON NSR 1755 I 7 A에는 프로그래밍 가능한 수차 교정기가 포함되어 있으며, 이는 고급 현장 심도 제어 및 균일 한 화질 유지 관리를 제공합니다. 이 장치에는 또한 라인 엔드 단축을 최적화하고 LER (Line Edge Roughness) 를 개선하는 자동 클럭 기울이기 보상 기계가 포함되어 있습니다. NIKON NSR-1755I7A는 3 영역 조명 소스를 채택하여 처리량 향상을 위한 처리량 성능을 향상시킵니다. 스캐너는 또한 NIL (Nanoimprint Lithography) 및 XPA (X Projection Aligners) 를 포함한 비사진 마스크 기술의 사용을 지원합니다. NSR 1755 i7A 는 높은 처리량과 저렴한 리소그래피 애플리케이션에 적합합니다. 워퍼 (wafer) 색상 표시를 통합하여 정렬 표시 인식 (Alignment Mark) 을 단순화하며 다양한 고급 반도체 필름과 함께 사용할 수 있습니다. 이 장치는 안정성을 최적화하고, 조건부 (conditioned) 관절 (articulation) 을 제공하여, 스텝퍼 가장자리의 움직임을 최소화하고 진동원을 제거하는 디자인을 특징으로합니다. NSR 1755I7A 는 경제적이고 까다로운 웨이퍼 스테퍼 애플리케이션에 적합합니다. 모든 제품에 대한 NIKON 표준 보증, 전 세계 24/7 지원 등 포괄적이고 신뢰할 수 있는 서비스 계획이 Wafer Stepper를 지원합니다.