판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9256260
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판매
ID: 9256260
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1992
i-Line stepper, 4"-8"
Reticle, 5"
Thickness: 0.09"
Material: Quartz glass / Low-expansion glass
Type: Low-reflection chromium mask (Single layer chromium also acceptable)
Resolution: 0.50 µm
Lens distortion: ±0.07 µm
Magnification control: ±0.03 µm
Maximum exposure area: 24.74 mm dia
Reticle bind setting accuracy: +0.4 +0.8 mm
Exposure power: 600 mW / cm³
Integrated exposure stability: ±1.4%
Illumination uniformity: ±1.5%
Focus calibration repeatability: Within 0.15 µm
Reduction ratio: 5:1
Field: 17.5
O.45 Resolution (NA): 0.5
Global alignment: 0.18 um
Reticle rotation:
Absolute value: Within ±0.02 µm of target value
Repeatability: Within 0.02µm
Alignment accuracy:
WGA X+3ơ ≤ 0.18 µm
EGA X+3ơ ≤ 0.11 µm
Array orthogonality: ±0.2 Sec
Stepping precision: 0.8 µm (3s)
Reticle pre-alignment accuracy: ±2 mm
Interchangeability: ±0.12 µm
Stepping rate:
<11 Sec (100 mm)
<20 Sec (125 mm)
<28 Sec (150 mm)
Throughput:
WGA:
<21 min (125 mm)
<21 min (125 mm)
<22 min 40 sec (150 mm)
EGA:
<21 min (125 mm)
<21 min 15 sec (125 mm)
<24 min 50 sec (150 mm)
1992 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A는 단일 웨이퍼 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. NIKON 최신 세대의 NSL Optics (NIKON Semiconductor Lithography Optics) 가 장착되어 있어 매우 정밀한 이미징 기술을 사용하여 복잡한 집적 회로 (IC) 패턴을 정확하게 제작할 수 있습니다. NIKON NSR 1755I7A는 NIKON "i 플랫폼" 을 기반으로 구축되어 단일 웨이퍼 리소그래피에 대한 뛰어난 안정성과 정확성을 제공합니다. i 플랫폼은 고정밀, 직접 구동 스테핑 모터를 사용하여 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 이동하고 시스템의 정확성과 안정성을 더욱 향상시킵니다. 이 플랫폼에는 빠른 패턴 인식 및 위상 일치 (phase matching) 를 위한 고속 가속 제어 장치도 포함되어 있습니다. 이 기계에는 2 개의 고급 NIKON Semiconductor Lithography Optics (NSL Optics) 시스템이 장착되어 있으며 2D 및 3D IC 패턴 노출을위한 뛰어난 성능과 고해상도를 제공합니다. 고급 광학 시스템의 해상도는 0.2 미크론 (2 nm) 에서 20 미크론 (200 nm) 입니다. 또한 공구는 Constant K, Calibrated K 및 Intensity K 조명을 포함한 여러 가지 조명 옵션으로 구성 할 수 있습니다. 반복 가능한 정확성과 신뢰성을 위해 NSR-1755I7A는 고급 자동 정렬 자산을 통합합니다. 자동 정렬 (auto-align) 모델은 정렬에 대한 수동 개입 없이 웨이퍼의 위치를 정확하게 인식하고 이미징 광학에 맞출 수 있습니다. 이렇게 하면 정렬 오류 수를 줄이고, 웨이퍼 배치에 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. NIKON NSR 1755 I 7 A에는 고속 웨이퍼 처리 장비가 장착되어 있으며, 이는 초당 최대 2.5 웨이퍼 속도로 빠른 웨이퍼 교환을 수행합니다. 이렇게 하면 처리 시간을 줄이고, 높은 정확도를 유지하면서 처리량을 얻을 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 프로세스 진단 시스템 (process diagnostic system) 이 장착되어 있으며, 웨이퍼 노출 중에 결함 및 이상을 신속하게 감지 할 수 있습니다. 전반적으로 NSR-1755 I 7 A 웨이퍼 스테퍼는 단일 웨이퍼 리소그래피에 뛰어난 성능을 제공하는 고급 장치입니다. 높은 반복성과 정확성을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 해상도 (Resolution) 와 조명을 지원합니다. 고급 자동화 및 프로세스 진단 (Advanced Automation and Process Diagnostics) 기능을 통해 시스템이 최적의 처리량을 통해 안정적이고 결함이 없는 IC 패턴을 제공할 수 있습니다.
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