판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9254168
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ID: 9254168
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조를 위해 설계된 고급 노출 도구입니다. 탁월한 수준의 전문 성능과 혁신이 특징입니다. i7A에는 2 축 전동 웨이퍼 스테이지 시스템이 있으며, 이를 통해 기판의 고정밀 정렬 및 추적이 가능합니다. 또한 AHSA (Adaptive High Step Accuracy) 라는 기능을 사용하여 고해상도 패턴을 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 폭 6 ~ 200mm 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최고 800mm/s의 초고속 스캐닝 모드를 갖추고 있으며, 고정밀 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에 있는 패턴의 완벽한 초점, 정렬 및 노출이 보장됩니다. 또한 하위 필드 처리 (Sub-field Processing) 라는 고유한 기능을 사용하여 여러 필드를 동시에 처리할 수 있습니다. 또한 전체 도량형 도구 (metrology tools) 를 사용하여 사용자는 제조 공정을 모니터링 할 수 있습니다. i7A에는 FEM (Fast Extreme Multi-field) 소프트웨어라는 소프트웨어도 제공됩니다. 이 소프트웨어는 사용자에게 다양한 패턴화 (patterning) 기술을 만들어 복잡하고 복잡한 설계를 가능하게 합니다. 마지막으로 i7A는 최첨단 안전 기능으로 제작되었습니다. 고급 안전 옵션에는 이중 측면 공기 폭발 팬, 정전 방지 장벽, 비상 정지 기능이 포함됩니다. 이 모든 기능은 운영 중 최대의 안전성과 안정성을 보장합니다. 결론적으로 NIKON NSR 1755I7A 웨이퍼 스테퍼는 고급 반도체 제조업체를 위해 설계된 최첨단 노출 도구입니다. 강력한 스캐닝 (Scanning) 및 도량형 (Metrology) 기능과 다용도 패턴 옵션을 갖춘 i7A 는 심각한 웨이퍼 처리 작업을 위한 완벽한 툴입니다.
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