판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9254113

NIKON NSR 1755 i7A는 장비 면적이 950mm x 950mm 인 차세대 몰입 형 멀티 빔 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최신 모델인 NIKON NSR 시리즈에는 메인타이어로 노출 시간을 단축하고 탁월한 이미지 처리 기능과 높은 처리량을 제공하는 혁신적인 i7A 엔진이 내장되어 있습니다 (영문). NIKON NSR 1755I7A 는 전반적인 시스템 성능을 향상시키는 독보적인 디지털 멀티빔 지원 플랫폼을 기반으로 합니다. 이 특허 장치는 초당 최대 100 회 노출 (exposure per second) 을 제공할 수 있어 전례없는 처리량을 제공합니다. 광학 기계에는 5 배 및 1 배 축소 기능이있는 7 빔 투영 도구가 있습니다. 이 고급 자산 (Advanced Asset) 은 처리량을 크게 향상시키고 정확도를 높이고 균일성을 높입니다. 광학은 이미징 유연성과 안정적인 플랫폼을 보장하기 위해 조절 가능한 선형 (linear) 단계에 장착됩니다. 이 모델에는 진동을 최소화하고 서비스 수명을 연장하는 에어 베어링 스핀들 (air-bearing spindle) 이 장착되어 있습니다. NSR-1755I7A 는 박막 석영 (Thin Film Quartz) 에서 SOI 웨이퍼 (SOI Wafer) 및 두꺼운 유리 (Thick Glass) 에 이르기까지 다양한 기판과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 수직 및 대각선 웨이퍼 처리를 위해 큰 자동 로드 영역이 장착되어 있습니다. 이를 통해 한 번에 최대 25 개의 8 인치 및 8 개의 12 인치 웨이퍼를 적재 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 추가 수정 없이 모든 청소실 (cleanroom) 이나 생산 환경에 적합하도록 설계되었습니다. 클로즈드 루프 E 래스터 (closed-loop E raster) 및 레티클 식별 (reticle identification) 과 같은 고급 기술은 정확한 이미징을 위해 노출 시간과 최소 단계 크기를 높은 수준으로 제어합니다. NIKON NSR-1755I7A는 대용량 운영 환경을 위한 매우 효율적이고 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 멀티 빔 기술을 통해 처리량과 균일성이 향상됩니다. 가변 광학 시스템은 정밀한 이미징 (Imaging) 을 제공하며 자동 로드 영역은 광범위한 기판을 처리 할 수 있습니다. 개방형 아키텍처는 유지 관리 비용을 최소화하고, NSR 1755 i7A 는 다중 계층 프로세스 애플리케이션에 적합한 단위입니다.