판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9250068
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ID: 9250068
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L+R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temp: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A는 정확하고 정밀한 작동을 위해 고성능 프로젝션 렌즈가 장착 된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 장비는 15nm 노드 이하용으로 설계되었으며, 완전 자동 작동, 뛰어난 오버레이 정확도, 처리량 (업계 평균 대비 30%) 을 제공합니다. NIKON NSR 1755I7A는 또한 표준에서 초고정밀도 모드 (나노미터 수준의 정확도) 까지 광범위한 고도 모드를 제공합니다. NSR-1755I7A는 중립 입자 광학을 기반으로 한 새로운 세대의 투영 광학을 특징으로합니다. 이 프로세스는 투사 확대를 증가시키지 않고 15 nm 노드 이하에서 작동을 가능하게합니다. 또한, 전체 시야에 걸쳐 투영 이미지의 균일성도 향상됩니다. CCD 기반 자동 정렬 시스템이 추가되면, 이 스테퍼는 매우 정확한 웨이퍼 정렬을 제공하여 오버레이 정확도가 향상됩니다. NSR 1755I7A에는 12 인치 웨이퍼 스테이지가 있으며, 비교할 수없는 런다운 시간은 2 초이며 기판 틸트 수정 장치가 있습니다. 이 기계는 최대 처리량과 수율을 제공하며 -50 ° C의 매우 낮은 온도에서 작동 할 수 있으며, 마스크 패턴의 온도 의존적 (temperent-dependent over-exposure) 의 위험을 줄입니다. 또한 NIKON NSR-1755 I 7 A에는 완전하게 자동화된 프로세스 제어 도구가 장착되어 있어 수작업 없이 정확하고 안정적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 고급 고감도 적외선 정렬 (High-Sensitivity Infrared Alignment) 에셋을 통해 광학 정렬 패턴이 필요 없는 신속한 노출 정렬이 가능합니다. NIKON NSR 1755 I 7 A 웨이퍼 스테퍼를 사용하면 복잡한 마스크 패턴을 정확하고 균일하게 투사하여 매우 높은 노출 품질을 제공합니다. 이것은 모델의 높은 처리량, 낮은 소유 비용, 탁월한 성능 등과 함께 차세대 전자 기기 (Electronic Device) 의 대용량 생산에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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