판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9248848
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ID: 9248848
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1991
Stepper, 6", parts system
System: PDP11/73
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: 6" Flat
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Type 1
Flat type
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15/17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and chamber
Chamber model: ASAHI (S78)
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X and Y Ball screw
X and Y Motor unit
AFINTF (AF68)
HEWLETT-PACKARD / AGILENT / KEYSIGHT 5517A Laser head
Z Motor unit
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1, 2 units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A는 대규모의 생산 라인의 요구를 충족하도록 설계된 고정밀, 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 그 기능은 탁월한 처리량과 단단한 기능 및 오버레이 등록을 제공합니다. NIKON NSR 1755I7A는 특허를받은 초고해상도 9축 스캐닝 장비를 장착하여 정확한 웨이퍼 정렬, 필름 크롬의 정밀한 정렬, AE 측정 기능을 통해 최대 0.5jm의 단계 및 반복 등록 정확도를 제공합니다. 또한, 내장 분할 (split-optics) 웨이퍼 스테핑 시스템은 다중 노출을 빠르게 정렬하기 위해 중복되는 시야의 독특한 기능을 제공합니다. NSR-1755I7A 는 강력한 Windows 기반 7E 컨트롤러로 구동되며, 사용자 친화적인 인터페이스와 다양한 패턴 생성 툴을 통해 운영 및 프로세스 제어를 손쉽게 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 결함 검사 및 오버레이 제어 기능이 포함 된 NIKON i-Vision Software 패키지도 함께 제공됩니다. NIKON NSR 1755 I 7 A는 하나의 현미경 접근 방식을 통합하여 기계적 부품 수를 줄이고 정렬 절차를 단순화합니다. 이렇게 하면 빠른 노출 시간 (Fast Exposure Time) 이 가능해지며, 높은 정렬 속도에서도 고품질 이미지를 생성할 수 있습니다. NSR-1755 I 7 A 의 다른 기능에는 다중 마스크 정렬 도구 (multiple-mask alignment tool) 가 포함되어 있어 동일한 필드에 여러 마스크를 추가하여 정확하게 정렬할 수 있습니다. 글로벌 필름 워 페이지의 보상을 허용하는 자동 스티칭 모드; 그리고 필터 정렬 도량형으로, 정렬 정확도를 위해 비표준 패턴을 제거합니다. 또한 NIKON NSR-1755 I 7 A는 구성 가능한 침수 유체 레벨, 다중 챔버 구성 및 옵션 zoner pressurizer 옵션을 통해 다양한 프로세스 환경에 적응할 수 있습니다. 모듈식 설계로 설치 및 유지 보수가 쉬워집니다. 전반적으로 NIKON NSR-1755I7A 는 빠른 처리량과 고정밀도 이미지를 완벽하게 등록, 정확도, 오버레이 제어를 위해 설계되었습니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 대규모 생산 라인에서 웨이퍼 처리 제작에 이상적인 선택입니다.
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