판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9247254

NIKON NSR 1755 i7A는 복잡한 마이크로 스케일 패턴 개발 및 제조에 최적화된 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장비입니다. 최대 해상도는 0.3õm이며, 직경 200mm 정도의 기판을 처리 할 수 있습니다. 스테퍼는 특허를받은 NIKON N-Tilt 스테이지 기술을 사용하여 노출 중 웨이퍼의 높은 정확도를 제어 할 수 있습니다. NIKON NSR 1755I7A는 이미징 정확성을 향상시키는 X/Y 정보 기술도 갖추고 있습니다. 이미징 광학은 0.14x 및 0.4Gbps의 처리 속도를 줄입니다. NSR-1755I7A 는 두 개의 강력한 컴퓨터 (하나는 제어 시스템, 하나는 이미지 처리 및 연산 장치) 로 구동됩니다. 제어 머신 (control machine) 은 프로세스 자동 최적화를 위한 매크로 한 쌍과 같은 다양한 프로그래밍 기능을 제공합니다. 또한 NIKON NSR-1755 I 7 A는 최대 288 개의 이진 제어 채널과 9 개의 동작 축을 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 결함 칩의 정확한 배치를위한 다이 속도 제어 장치 (die velocity control device) 도 포함되어 있습니다. [기판 자동 정렬] 장치를 사용하면 기판과 노출 마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다. NSR-1755 I 7 A의 등각 노출 자산은 처리율이 높고 평균 수익률은 99% 를 초과합니다. NSR 1755I7A에는 높은 정확도의 선형 사진 정렬 모델도 장착되어 있습니다. 고속 노출 플로터가 특징이며, 실시간 이미지 처리 장비가 장착되어 있습니다. 이 스테퍼는 또한 결함 검토를위한 온보드 시스템 (On-board System) 과 기계가 여러 노출물을 처리 할 수있는 지속적인 제안 및 수락 장치 (Continuous Offer and Accept Unit) 를 지원합니다. 또한 NSR 1755 I 7 A 에는 노출 프로세스를 최적화하는 다양한 고급 기능이 있습니다. x-shift 및 y-shift 기능을 사용하면 기판에 대한 마스크의 정확한 위치를 지정할 수 있으며, DFC (differential focus compensation) 기능은 소음, 초점 및 왜곡을 자동으로 보상합니다. 자동 게시 기능은 웨이퍼의 임계 치수 오류를 자동으로 보완합니다. 마지막으로, 고급 설계 기능을 통해 최대 1/100 마이크로미터 및 최대 3D Z축 제어의 정렬 정확도를 구현할 수 있습니다.