판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9236936

NIKON NSR 1755 i7A는 집적 회로의 대량 생산을 위해 설계된 대규모 석판화 장비입니다. 풀 필드, 오염되지 않은 환경 친화자입니다. NIKON NSR 1755I7A는 반도체 장치 구성에서 높은 처리량, 높은 정확도 및 높은 반복성을 달성 할 수 있습니다. NSR-1755I7A는 500mm의 스캔 필드를 사용하며, 잔여 스캔 필드 편차 (RMS) 는 0.5jm 이하입니다. 고해상도 및 처리량을 유지하면서 시간당 최대 25.3 웨이퍼 (wafer) 까지 검색할 수 있습니다. 유효 층 초점 깊이 (DOF) 는 50 m보다 크고 저항 배치 평탄도는 0.18 m입니다. 이 시스템에서 달성 한 고해상도는 최대 0.6 센티미터의 임계 치수 변화를 허용합니다. 또한 고급 레이저 오버레이 정렬 장치 (Advanced Laser Overlay Alignment Unit) 를 사용하여 레이어 사이의 오버레이에 대해 최대 0.1jm의 정확도를 제공합니다. 또한, 기계에는 고감도 레이저 오염 감소 시스템 (Laser contamination Reduction System) 이 장착되어 있어 처리량 및 수율 증가가 가능합니다. 이는 도구의 내장 웨이퍼 오염 방지 (wafer contamination prevention) 측정으로 인해 리소그래피 자산에 입자가 들어갈 가능성을 억제하기 때문입니다. 또한 스캐닝 옵틱 (Scanning Optic) 및 포지셔닝 모델에 대한 열/전기 효과를 제어하기 위해 고급 고정밀 진동 감소 시스템을 사용합니다. 이 스테퍼는 또한 독특한 이중 노출 장비, di-quad 헤드 스캔 및 고급 초점 심도 의존 스캔 시스템을 갖추고 있습니다. 이중 노출 장치 (double-exposure unit) 는 기판의 반대면을 동시에 처리 할 수있는 반면, 초점 종속 스캐닝 기계는 DOF 잘못 정렬로 인해 연속적인 감광 레이어 실패 가능성을 줄입니다. 전반적으로 NIKON NSR-1755 I 7 A 스테퍼는 최신 기술을 많이 갖춘 고급적이고 신뢰할 수있는 사진 분석 도구입니다. 즉, 높은 처리량, 높은 정확성 및 높은 반복성을 제공하여 집적 회로를 대량 생산할 수 있습니다. 첨단 설계를 통해 광범위한 집적 회로 (integrated circuit) 장치를 생산할 수 있는 고성능, 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.