판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9212123
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판매
ID: 9212123
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6"
Chamber
Type: ASAHI S75
Set temperature: 24°C
FIA
PLC Type: MITSUBISHI MELSEC F1-60MR
Reticle microscope: 17.5 mm Variable
Reticle size: 5"
HP Laser:
5517 A
5 mW
ITV Camera: Custom
OF Detection type: NIKON
OF Sensor and OF ud motor: Normal 3.1:1
Wafer loader type: Type 1
Wafer condition: Silicon
Wafer carrier table: Right / Left
Rack type: Right
Does not include Electric source Nema box.
NIKON NSR 1755 i7A는 사진 해설을위한 최첨단 제작 도구입니다. 고정밀 웨이퍼 스테퍼로, 크기가 0.025 äm에 불과한 고급 1 단계 및 2 단계 기능을 생성 할 수 있습니다. 이 장비의 통합 설계는 고출력, 처리 능력, 안정성을 결합하여 대용량 볼륨 제조, 수율 손실이 매우 적습니다. 나노 미터 오버레이 및 등록 정확도는 다이 전체의 뛰어난 라인 너비 제어 및 균일성을 보장합니다. 시스템의 중심에는 최고 가속도 6G (6G) 를 제공하는 동안 나노미터 (nanometer) 정확도를 유지하는 높은 정밀도 6축 동작 로봇이 있습니다. 1nm 미만의 추적 추적 반복 가능성이 있습니다. 로봇은 고속 사진 마스크 체인저 (photo-mask changer) 와 고정밀 기판 및 마스크 정렬기 (mask aligner) 와 통합되어 설정 시간을 최소화합니다. NIKON NSR 1755I7A의 다른 기능으로는 가변, 자동 렌즈 정렬 장치 (정렬 및 초점 품질을 정확하게 유지), 동적 범위가 2 인 고감도, 광역 노출 머신이 있습니다. 또한 향후 요구 사항을 충족할 수 있도록 확장성과 업그레이드가 가능합니다. NSR-1755I7A는 긴 사이클 시간과 다양한 기판을 위해 설계되었습니다. 55 ~ 253mm 웨이퍼를 안전하게 처리하도록 설계되었으며, 가장자리의 최소 수축을 보장하기 위해 온도가 16 ° C 인 온도에서 작동 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 당 최대 30 건의 노출을 처리 할 수 있으며, 전체 사이클 시간이 줄어 듭니다. 기능이 풍부한 NIKON NSR-1755 I 7 A는 MEMS, 광전자 장치 및 반도체를 포함한 많은 photolithography 응용 프로그램에서 선호되는 선택입니다. 첨단 기술과 고성능 기능으로 시제품 (Prototyping) 에서 전체 볼륨 제조 (Full-Volume Manufacturing) 에 이르기까지 모든 규모의 생산에 대한 탁월한 선택입니다.
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