판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9062547

NIKON NSR 1755 i7A는 매우 정밀한 웨이퍼 스테퍼로, 특히 연구 및 개발 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 5 축 정렬 장비는 최대 1 나노 미터 (nanometer) 의 해상도로 최적의 위치 지정 및 정확한 웨이퍼 스캔을 보장합니다. 처리량이 높은 5.5kW 램프 소스 2 개와 5 'NA 0.45 조명기가 있습니다. 시스템의 주요 특징은 높은 감마 설정 35, 최대 photoresist 접지 크기 17.55 인치, X 및 Y 축을 따라 뛰어난 10 나노미터 위치 정확도입니다. NIKON NSR 1755I7A는 처리량과 위치 정확도가 우수합니다. 또한 0.5ms (초단파 노출 시간) 를 특징으로하며, 이는 ND (Neutral Density) 필터 설정의 변화에 대해 노출 에너지 출력 수준을 안정적으로 유지합니다. 이를 통해 일관된 결과로 더 정확한 플랫 라인 노출이 가능합니다. NSR-1755I7A 에는 성능 최적화를 위해 4 개의 반사 방지 제어 매개변수가 있습니다. 또한 기울기 및 비틀기 기능이있는 3D 스캐너 (3D scanner) 가 특징이며, 강성 치수가있는 웨이퍼에서 매우 정밀하게 스캔 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 내장된 이중화 (redundancy) 를 자랑합니다. 이 이중화는 미세한 선 너비로 장치를 제작할 때 더 높은 안정성을 제공하여 패턴 왜곡을 일으키는 인스턴스를 방지합니다. 이미징 측면에서 NIKON NSR 1755 I 7 A에는 고급 디지털 이미지 캡처 시스템 (Advanced Digital Image Capture Machine) 이 장착되어 있어 뛰어난 성능으로 다크 필드 이미징을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 또한 높은 정밀 정렬 등록을 제공하여 오버레이 측정, 도량형, 검사 등의 응용 프로그램에 적합합니다. NSR-1755 I 7 A는 탁월한 처리량, 위치 정확도, 신뢰성 및 이미징 기능을 원하는 사람들을 위한 탁월한 웨이퍼 스테퍼 자산입니다. TCO (총소유비용) 와 사용 편이성을 고려해 보면 포토마스크 (photomask), 반도체 (semiconductor) 장치, MEMS (MEMS) 등 다양한 연구 개발 분야의 고급 석판 응용에 이상적인 플랫폼이다.