판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9062546
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NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper는 다양한 웨이퍼 패턴을 생산하기 위해 설계된 비용 효율적인 석판 장비입니다. 스테퍼는 고급 광학 기술을 사용하여 웨이퍼를 패턴화하여 비싼 포토 마스크 (photomask) 의 필요성을 줄입니다. 스테퍼는 트랜지스터, 상호 연결 및 DRAM과 같은 멤버십의 생산 프로세스에 사용됩니다. NIKON NSR 1755I7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고정밀 고동적 스테이지를 포함한 고급 닫힌 루프 동작 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 스테이지의 면적은 950mm이고 정확도는 0.1 마이크로 미터입니다. 회전 정확도는 0.05 도이며 웨이퍼 패턴화 (wafer patterning) 에 필요한 매우 빠르고 정확한 스캐닝 및 위치를 지정할 수 있습니다. 또한 "스테퍼 '에는 진동 을 줄이는 데 도움 이 되는 새로운 광학 장치 가 있다. NIKON 고급 렌즈 머신은 0.51nm의 뛰어난 해상도와 균일 한 디포커스 기능을 제공합니다. NSR-1755I7A Wafer Stepper에는 원샷 노출 도구와 2 샷 노출 자산이 장착되어 있습니다. 원샷 노출 모델 (One-Shot Exposure Model) 은 마스크에서 웨이퍼로 데이터 전송 노출 시간을 최소화하는 반면, 투샷 (Two-shot) 장비는 스캔을 변형시키지 않고 여러 번 노출 할 수 있습니다. 스테퍼는 전문 NikonVision 패턴 생성 시스템과 함께 제공됩니다. 이 패턴 생성 장치 (pattern generating unit) 는 대화형 및 자동 마스크 패턴 생성을 모두 제공하며 대화형 패턴 조정 동작 및 결함 인식 프로그램이 특징입니다. 결함 인식 프로그램은 웨이퍼 패턴의 잠재적 결함을 최소화하는 데 도움이됩니다. NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper에는 NikonStar라는 고급 내장 제어 시스템이 있습니다. 이 도구는 테이블 위치, 웨이퍼 포커스, 노출 시간 등과 같은 필요한 모든 매개변수를 제어합니다. 에셋은 또한 웨이퍼 정렬을 자동으로 조정하고, 기울기 (tilt) 및 조작 (maneuver) 을 위한 조정 및 보정을 가능하게 합니다. 스테퍼는 웨이퍼 패턴화를 위해 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 리소그래피 솔루션입니다. 첨단 옵티컬 기술, 강력한 모션 컨트롤 모델, NIKON 특수 패턴 생성 장비를 통해 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 패턴을 제공합니다. NSR-1755 I 7 A Wafer Stepper를 사용하면 대량의 웨이퍼 패턴을 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다.
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