판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9062546

NIKON NSR 1755 i7A
ID: 9062546
i-Line stepper, parts system.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper는 다양한 웨이퍼 패턴을 생산하기 위해 설계된 비용 효율적인 석판 장비입니다. 스테퍼는 고급 광학 기술을 사용하여 웨이퍼를 패턴화하여 비싼 포토 마스크 (photomask) 의 필요성을 줄입니다. 스테퍼는 트랜지스터, 상호 연결 및 DRAM과 같은 멤버십의 생산 프로세스에 사용됩니다. NIKON NSR 1755I7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고정밀 고동적 스테이지를 포함한 고급 닫힌 루프 동작 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 스테이지의 면적은 950mm이고 정확도는 0.1 마이크로 미터입니다. 회전 정확도는 0.05 도이며 웨이퍼 패턴화 (wafer patterning) 에 필요한 매우 빠르고 정확한 스캐닝 및 위치를 지정할 수 있습니다. 또한 "스테퍼 '에는 진동 을 줄이는 데 도움 이 되는 새로운 광학 장치 가 있다. NIKON 고급 렌즈 머신은 0.51nm의 뛰어난 해상도와 균일 한 디포커스 기능을 제공합니다. NSR-1755I7A Wafer Stepper에는 원샷 노출 도구와 2 샷 노출 자산이 장착되어 있습니다. 원샷 노출 모델 (One-Shot Exposure Model) 은 마스크에서 웨이퍼로 데이터 전송 노출 시간을 최소화하는 반면, 투샷 (Two-shot) 장비는 스캔을 변형시키지 않고 여러 번 노출 할 수 있습니다. 스테퍼는 전문 NikonVision 패턴 생성 시스템과 함께 제공됩니다. 이 패턴 생성 장치 (pattern generating unit) 는 대화형 및 자동 마스크 패턴 생성을 모두 제공하며 대화형 패턴 조정 동작 및 결함 인식 프로그램이 특징입니다. 결함 인식 프로그램은 웨이퍼 패턴의 잠재적 결함을 최소화하는 데 도움이됩니다. NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper에는 NikonStar라는 고급 내장 제어 시스템이 있습니다. 이 도구는 테이블 위치, 웨이퍼 포커스, 노출 시간 등과 같은 필요한 모든 매개변수를 제어합니다. 에셋은 또한 웨이퍼 정렬을 자동으로 조정하고, 기울기 (tilt) 및 조작 (maneuver) 을 위한 조정 및 보정을 가능하게 합니다. 스테퍼는 웨이퍼 패턴화를 위해 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 리소그래피 솔루션입니다. 첨단 옵티컬 기술, 강력한 모션 컨트롤 모델, NIKON 특수 패턴 생성 장비를 통해 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 패턴을 제공합니다. NSR-1755 I 7 A Wafer Stepper를 사용하면 대량의 웨이퍼 패턴을 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다.
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