판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #293681792

ID: 293681792
빈티지: 2008
Stepper 2008 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper는 단일 자릿수 나노미터 기능을 갖춘 고급 반도체 칩을 인쇄하기 위해 설계된 고해상도 리소그래피 장비입니다. 최첨단 광학 기술을 활용하여 직경이 최대 200mm 인 기판에 이미징을 사용할 수 있으며, 중첩 정확도가 높은 12K 및 15K 해상도를 제공 할 수 있습니다. 이 정밀 시스템은 또한 다른 장치를 빠르고 쉽게 설정할 수 있는 자동 보정 (auto-calibration) 과 빠른 프로토타입 (prototyping) 및 프로세스 최적화를 위한 미리 정의된 함수 라이브러리 (library) 를 갖추고 있습니다. NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepper는 고급 광 장치를 사용하여 모든 NIKON 리소그래피 시스템의 최고 해상도와 정확도를 달성합니다. NIKON 특허 NIS-AEA 렌즈를 특징으로하며, 이는 독점적 인 ArF 광 방출 파장과 고급 모든 반사 이미징 광학을 사용하여 한 자리 나노 미터에서 고해상도 이미징을 가능하게합니다. 또한 듀얼 축 자동 정렬 기능을 갖춘 수정된 멀티 포커스 (multi-focus) 옵틱으로 설계되어 높은 오버레이 정확도를 보장합니다. 이 기계는 또한 자동 보정을 사용하는 알고리즘 인 NIKON HD-FSC (NIKON HD-FSC) 를 특징으로하며, 다른 프로세스와 설정을 이미징 및 테스트하기 위해 서로 다른 장치를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 사전 정의된 함수 라이브러리 (Library of pre-defined function) 를 사용하면 빠른 속도와 정확성으로 프로세스를 신속하게 생성, 테스트 및 최적화할 수 있습니다. 최대 기판 크기가 200mm인 NSR-1755I7A Wafer Stepper는 다양한 칩 디자인을 수용 할 수 있습니다. 첨단 반도체 칩에 대한 설계, 생산 요건을 충족하는 고도의 정밀 작동이 가능하며, 비용 효율도 높다 (영문). 또한 프로세스 결함 검사를 위한 자동화된 자산 (automated asset) 과 처리량 및 효율성을 최적화하는 자동화된 작업 라우팅 (automated job routing) 을 제공합니다. NIKON NSR 1755 I 7 A Wafer Stepper는 최첨단 광학 기술과 자동 조정 및 사전 정의된 기능을 결합하여 초고해상도, 높은 오버레이 정확도, 향상된 반도체 칩의 비용 효율성을 제공하는 고급 석판화 모델입니다. 최대 200mm 직경의 기판을 수용 할 수 있으며, 12K 및 15K 해상도의 1 자리 나노 미터 기능을 이미징 할 수 있습니다. 이 정밀 장비는 사전 정의된 기능의 라이브러리를 사용하여 여러 장치를 빠르고 쉽게 설정하고 프로세스 최적화 (process optimization) 할 수 있습니다.
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