판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #293681785

NIKON NSR 1755 i7A는 정밀 미세 석판 처리에 이상적인 최첨단 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 최신의 정렬기 (aligner), 이미징 (imaging), 조명기 (illumination) 기술을 활용하여 고객에게 최고의 정확도와 수율을 제공합니다. 이 시스템은 마스크 상의 임의의 지점에서 4nm의 정확도를 달성 할 수있는 혁신적인 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 갖추고 있으며, 사이클 당 최대 1nm까지 반복 할 수 있습니다. 따라서 수작업 (Manual Intervention) 이 적어지고 제품 수명 동안 TCO (소유 비용) 가 절감됩니다. NIKON NSR 1755I7A는 또한 높은 수치 조리개 NA 1.35 렌즈 장치를 사용하여 고급 기능 감지 및 향상된 오버레이 정확도에 대한 이미지 선명도를 최대화합니다. 이 렌즈 머신은 또한 임계 지역 전력 규제를 위해 4 미크론 피치 해상도를 생성 할 수 있습니다. 높은 정확성과 반복성 외에도, NSR-1755I7A 는 고급 Digital Machining 및 Optical Machining Technology 제품군을 포함하며, 중간에서 높은 복잡성까지 다양한 기능을 제공합니다. 고급 디지털 머시닝 기능에는 150nm 피치, 다중 패턴 머시닝, 자동 정렬 및 부분 노출이 포함됩니다. Optical Machining 기능에는 100nm 피치와 3D 와이드 SOR/WOM 노출 및 다중 조리개 노출이 포함됩니다. NIKON NSR-1755 I 7 A는 정렬기 설정에서 노출 후 처리에 이르기까지 전체 웨이퍼 스테퍼 리소그래피 프로세스를 관리하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 통합 프로세스 문제 해결 기능 (Optical Alignment, Reliability Check 및 Anomaly Detection Algorithm) 과 다양한 도량형, 시뮬레이션 및 분석 도구를 제공합니다. 이 도구는 가장 복잡한 반도체 및 MEMS 생산 응용 프로그램의 요구 사항과 고급 사양 (높은 정확성과 반복 가능성, 강력한 Digital Machining and Optical Machining Technology 제품군, 통합 프로세스 문제 해결 기능 포함) 에 적합합니다. 고급 웨이퍼 스테퍼 석판화.