판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #293605713
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ID: 293605713
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6"
Wafer type: Flat and notch
Wafer loader type I and II
Carriers loading: Left and right
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 5"
Reticle library: 17 mm
Reticle stage:
RA Microscope
Position: 17.5 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 A
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A는 직경 300 밀리미터의 웨이퍼에 광중합체 레이어 및 기타 재료를 정확하게 패턴화하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. i7A는 고급 광학 및 나노 재료를 사용하여 웨이퍼에 미세 해상도 패턴을 만드는 리소그래피 (lithography) 장비입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 고속 정밀 간섭계 이미징 렌즈와 우수한 광학을 사용하여 최대 해상도를 생산합니다. NIKON NSR 1755I7A의 넓은 작동 면적은 27 x 23.5 인치이며 직경이 최대 12 인치 인 7 인치 웨이퍼 및 마스크 플레이트를 지원합니다. 이 시스템은 여러 웨이퍼를 동시에 처리하여 처리 시간을 줄이고 처리량을 높일 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 광중합체, 에폭시 수지, 포토 esist 등과 같은 다양한 재료와 호환됩니다. NSR-1755I7A는 고급 이미징 및 패턴 기술을 사용하여 정확한 웨이퍼 처리를 수행합니다. 이 장치는 프로세스를 검사하고 제어하기 위해 논스톱 (non-stop) 멀티 센서 장치로 설계되었습니다. 머신은 제로 터치 검사 (Zero Touch Inspection) 와 초저온이 -50 ° C까지 내려가 금속 이동을 줄이기 위해 웨이퍼의 결함을 감지, 측정 및 거부 할 수 있습니다. NIKON NSR-1755I7A에는 높은 정확도를 위해 통합 자동 스테이지 간 정렬 도구가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 에지 존 (Edge Zone) 정렬 기능이 있어 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 재료 폐기물을 줄일 수 있습니다. 정렬 해상도는 ± 0.1äm입니다. 또한 NSR 1755 i7A 는 빠른 스캐닝 속도 (초) 를 제공하며 다양한 운영 요구를 처리할 수 있습니다. 데이터 관리 자산 (data management asset) 과 통합되어 전체 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 거리 감지 장치 (distance detector) 와 자동화된 오류 감지 장치 (automated error detection equipment) 와 통합되어 사용자가 처리 오류를 쉽게 찾아내고 제거할 수 있도록 도와줍니다. 전반적으로 NIKON NSR-1755 I 7 A (I 7 A) 는 최적의 정확성과 최소 비용으로 다양한 재료에 대한 정확한 패턴을 생산하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 반도체, MEMS 등과 같은 다양한 산업에서 사용하기에 적합합니다.
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