판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7 #9053209

NIKON NSR 1755 i7은 반도체, MEMS, LED 및 고급 패키징 어플리케이션의 장치 제작을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 차세대 플랫폼은 TSMC 의 주요 석판화 전문가 (lithography expert) 들과 협력하여 가장 까다로운 생산 요건에 대한 처리량을 높이도록 설계되었습니다. NSR 1755 i7 웨이퍼 스테퍼는 탁월한 처리량을 제공하며, 웨이퍼 정렬을 위해 최대 0.07 미크론의 초점 정확도로 시간당 최대 90 웨이퍼의 처리량을 제공합니다. 첨단 스테이지 컨트롤 장비 (Advanced Stage Control Equipment) 는 여러 인코더 어레이를 활용하여 빠른 속도와 정확한 스테이지 조정을 지원합니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 에는 자동 초점 시스템도 장착되어 있어 웨이퍼 이미지의 초점을 매우 정밀하게 조정할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 다양한 유형의 웨이퍼를 처리 할 때 정확하고 재현 가능한 성능을 제공하는 고해상도 웨이퍼 척 (wafer chuck) 디자인의 장점도 제공합니다. 이 NIKON NSR 1755 i7 플랫폼은 또한 아스페릭 렌즈 (aspheric lens) 디자인을 사용하여 노출 중에 발생할 수있는 광학 처리량을 높이고 수차를 줄이기 위해 고급 투영 광학을 사용하여 설계되었습니다. 광학 장치는 5x5 mm 레티클 (reticle) 모바일 머신을 사용하며, 이를 통해 많은 마스크 배열을 스테퍼와 함께 사용할 수 있습니다. 또한 이미지 품질을 향상시키기 위해 회절 감소 (diffraction reduction) 를 제공하는 편광 제어 도구가 있습니다. NSR 1755 i7 에는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 와 자동 작업 편집기 (Job Editor) 가 장착되어 있어 작업 시퀀스를 손쉽게 설정하고 매개변수를 빠르고 편리하게 변경할 수 있습니다. 이 스테퍼 (stepper) 에는 웨이퍼 카세트에서 웨이퍼를 자동으로 로드하고 언로드하는 로봇 에셋과 정밀 웨이퍼 처리를 위한 웨이퍼 처킹 (wafer chucking) 모델이 포함되어 있습니다. NIKON NSR 1755 i7 에는 예방 유지 보수 및 Service Request 관리를 위한 포괄적인 유지 관리 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 또한 데이터 로깅 기능을 제공하여 노출 균일성과 스테퍼 성능을 분석합니다. SNF 및 FabMaster를 포함한 다양한 데이터 검색 소스와 호환되며 OIF Laser Writer CHESS 표준을 완벽하게 지원합니다. 전반적으로 NSR 1755 i7 은 고밀도 웨이퍼 스테퍼로, 반도체, MEMS, LED, 고급 패키징 어플리케이션의 장치 제작에 탁월한 처리량과 집중적인 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 프로젝션 옵틱 (Optic), 사용자 친화적 인터페이스, 자동 작업 편집기 (Job Editor), 로봇 유닛 (Robot Unit) 및 포괄적인 유지 관리 시스템 (Maintenance Management Machine) 을 갖춘 이 플랫폼은 가장 까다로운 운영 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.