판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #9299965

NIKON NSR 1755 G7A
ID: 9299965
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6" 1990 vintage.
NIKON NSR 1755 G7A는 고급 반도체 프로세스를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 니콘 (NIKON) 에서 가장 발전된 스테퍼이며, 반도체 업계에서 논리 및 메모리 장치 제작에 광범위하게 사용됩니다. NIKON NSR-1755G7A는 길고 짧은 초점 길이를 위해 이중 스캔 시스템을 갖추고 있습니다. 다양한 스캔 속도로 고화질 (High-Fidelity) 이미지 배치 정확도와 안정적인 작동을 제공합니다. 향상된 광학 구성 요소는 더 높은 해상도, 향상된 초점, 정확한 이미징 기능을 제공합니다. 스테퍼의 최대 필드 크기는 12 "x 25" (305mm x635mm) 로 더 큰 장치 생산이 가능합니다. NSR-1755 G7A 는 처리량을 늘리는 다양한 옵션도 제공합니다. 인쇄 저항을위한 오버 코트 마스크 (overcoat mask), 빠른 정렬을위한 자동 상단 공구 장치, 다중 노출 자동 중심 시스템이 포함됩니다. 다른 옵션으로는 칩 디버그 (chip debug) 용 고속 다운로드 CMOS 메모리 옵션과 미세 튜닝 이미지 배치 정확도를 위한 처리량 제어 드라이버 (throughput control driver) 가 있습니다. NSR-1755G7A는 NIKON 고급 스캔 및 모델링 (SaM) 소프트웨어 제품군에도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 NIKON NSR-1755 G7A에서 만든 리소그래피 패턴을 분석하고 최적화할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 정렬, 프로세스 오류 감지, 에지 프로파일 향상 등을 자동화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 소프트웨어를 사용하여 노출 예산을 개발, 관리하고, 프로세스 개선을 파악하고, 생산 계획을 지원할 수 있습니다. 마지막으로, NSR 1755 G7A 에는 위치 정밀도, 비접촉 두께 측정을위한 레이저 간섭계가 장착되어 있습니다. 스테퍼는 또한 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능하며, 평평하고 고르지 않은 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 기능은 대용량 생산, 그리고 연구 개발 (Research and Development) 작업에 이상적인 도구입니다.
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