판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #9226367

NIKON NSR 1755 G7A는 고급 Telecentric Optic과 최대한의 정렬 정확도를 가진 고급 180 ° 셔터를 갖춘 5 축 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 먼지 보호는 입자가 기계에 들어가는 것을 방지하여 안정적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. NIKON NSR-1755G7A 는 0.1 "m/pixel 해상도와 21" nm '의 샷 크기 정확도를 갖춘 고정밀도 및 고속 패턴 생성을 제공하며, 설치 공간이 낮고 생산성이 뛰어난 설계를 제공합니다. 스테퍼는 200mm 및 300mm 기판을 모두 처리하기위한 이중 처킹 메커니즘으로 제작되었습니다. 최대 7 개의 카세트를 수용할 수있는 대용량 카세트 로더 (cassette loader) 가 장착되어 있으며, 기판 전송이 원활하여 시간 손실을 방지하고 생산 효율성을 향상시킵니다. 이 스테퍼는 뛰어난 해상도, 정밀한 정렬, 최적의 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 통신 광학은 수차를 줄일 수있는 반면, 180 ° 셔터 기능은 고정밀 (high-precision) 정렬을 보장하며 각 노출 사이트에서 형성된 라인의 향상된 정렬을 제공합니다. 셔터 각도는 미세 튜닝 패턴에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, 듀얼 처킹 (dual chucking) 방식은 총 시스템 처리량을 줄이고 200mm 및 300mm 기판을 효율적으로 처리합니다. NSR-1755 G7A를 사용하면 리소그래피, 웨이퍼 노출, 필름 개발 및 플라즈마 에칭과 같은 다양한 프로세스 모듈에 액세스 할 수 있습니다. 리소그래피 모듈은 웨이퍼의 5 축 동작 및 다양한 감지 기능을 제공하여 기능을 정확하게 노출 할 수 있습니다. 웨이퍼 노출 모듈은 0.1 m/픽셀 해상도의 고정밀 인쇄 및 단수에 의한 파우더 손실 (powder loss by singulation) 이 가능합니다. 또한 영화 개발 모듈은 최적화된 Cassette 전송 시스템으로 높은 생산성을 제공합니다. 마지막으로, 플라즈마 에칭 모듈은 사용자에게 10jm 해상도의 기능을 에치 할 수있는 기능을 제공합니다. 전반적으로 NIKON NSR-1755 G7A는 정밀 석판화 및 웨이퍼 처리에 적합한 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 통신 광학, 180 ° 셔터, 효율적인 기판 처리를위한 이중 척킹 메커니즘이 장착되어 있습니다. 스테퍼는 0.1 nm/픽셀 해상도와 21 nm 샷 크기 정확도로 고정밀, 고속 패턴 생성을 제공 할 수 있습니다. NSR 1755 G7A 는 다양한 프로세스 모듈 (process module) 을 통해 뛰어난 해상도와 처리량을 갖춘 소규모 기능을 세밀하게 조정할 수 있는 이상적인 장비입니다.