판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #9206241
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NIKON NSR 1755 G7A 는 업계에서 인정받는 웨이퍼 스테퍼로서, 탁월한 툴 성능, 높은 정확성, 뛰어난 생산성으로 유명합니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 제작 산업에서 작고 복잡한 장치의 제작에 널리 사용됩니다. 스테퍼는 Optical Column Assembly, Illumination Equipment 및 Exposure Head의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광학 열 (Optical Column) 은 정확한 이미지 배치를 보장하고 조명 시스템 (Illumination System) 은 노출에 사용되는 광원의 강도를 제어합니다. 노출 헤드 (Exposure Head) 는 웨이퍼, 노출 제어 및 이미지 스티칭을 이동합니다. NIKON NSR-1755G7A에는 탁월한 처리량과 wafer-to-wafer 균일성을 달성하도록 설계된 고급 옵틱이 포함되어 있습니다. 최소 평균 제곱 오류가 0.035 미크론에 도달하면 고해상도 이미지를 생성할 수 있습니다. NSR-1755 G7A 는 최고 10,000 단계/초의 스캔 속도, 최대 0.6 미크론 (미크론) 의 높은 정확도와 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 1392nm 광학 기술을 사용하며, 오프 축 (off-axis) 과 비스듬한 조명 (oblique illumination) 을 사용할 수 있으며, 어려운 프로세스 제어 응용 프로그램에서 대비를 개선하기 위해 노출 위도가 확장되었습니다. 완전 통합된 정렬 및 배치 등록 시스템 (Placement Registration System) 을 통한 확장 패턴 지정 기능을 제공하여 정확성과 품질이 동시에 향상됩니다. 또한 NIKON NSR-1755 G7A 는 고급 유지 보수 및 결함 검사 기능을 통해 향상된 운영 및 데이터 신뢰성을 제공합니다. ADR (Automatic Defect Review) 장치가 내장되어 있어 여러 유형의 잠재적 결함을 정확하게 감지하고 분류 할 수 있습니다. ADR 시스템은 고해상도로 20 가지가 넘는 결함을 분석, 분류할 수 있는 고급 용량을 제공합니다. NSR 1755 G7A 는 안정적이고 정확한 성능으로 인해 고급 석판화 (lithography) 애플리케이션에 이상적인 툴입니다. 높은 처리량 (Thrughput) 과 결합된 컴팩트하고 경량 (Lightweight) 디자인으로, 효율성을 높이고 처리량을 향상시키려는 반도체 제조업체에게는 탁월한 선택이며, 탁월한 정확성을 보장합니다.
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