판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #9159079

NIKON NSR 1755 G7A는 고급 석판 공정을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 완전 자동, 단일 렌즈, 스캐너 방식 투사 장비로, 수동 정렬이 필요 없이 빠른 단계 및 반복 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 비용 효율적인 리소그래피를 위해 0.75-NA, deep-UV 조명원을 사용하며 고급 65 나노 미터 (nm) 생산을 목표로합니다. NIKON NSR-1755G7A 투영 장치는 optics, camera 및 illumination 소스의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광학 기계는 두 개의 렌즈, 프로젝션 렌즈 및 이미징 렌즈를 통합하여 이미지의 정확하고 정확한 초점을 맞추고 칩을 이미지화하기 위해 DUV (Deep Ultra-Violet) 조명을 사용합니다. 카메라는 이미지를 4 인치 레티클 이미지 평면에 투영하여 기존의 4 인치 마스크 레티클을 사용할 수 있습니다. NSR-1755 G7A 웨이퍼 스테퍼의 조명 도구 (illumination tool) 는 가변 수치 조리개 (V-NA) 장치로, 컴퓨터의 조리개 제어로 인해 넓은 심도와 넓은 시야를 허용합니다. 조명원은 2 amp, 소스 및 링 형 자산으로, 4 인치 레티클에 분 회로 세부 사항을 쉽게 투영하도록 설계되었습니다. 또한 외부 통풍관 (venting pipe) 의 필요성을 없앨 수있는 진공 타이트 스테이지 구조가 특징입니다. NSR 1755 G7A 웨이퍼 스테퍼는 3 차원 자동 초점 제어 기술을 사용하여 웨이퍼에 데이터를 정확하게 레이어 단위로 등록합니다. 높은 정확도, 빠른 응답 (fast-response) 단계를 통해 노출 영역에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 이 모델에는 레티클을 수동으로 정렬할 필요가 없는 정렬 미러 (alignment mirror) 도 내장되어 있습니다. 마지막으로, 장비에는 고정밀 카메라 추적 시스템 (Camera Tracking System) 이 있어 웨이퍼 노출 데이터를 빠르고 정확하게 등록할 수 있습니다. 전반적으로, NSR-1755G7A 는 고급 65nm 리소그래피 (lithography) 장치를 빠르고 정확하며 안정적으로 생산할 수 있는 다양한 기능을 갖춘, 고급적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 LED와 반도체, 그리고 정확하고 정확한 리소그래피 (lithography) 공정이 필요한 다른 제품의 생산에 적합합니다.