판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #293639074

NIKON NSR 1755 G7A
ID: 293639074
Stepper Resolution: 0.65 / 0.54.
NIKON NSR 1755 G7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 실리콘 또는 기타 반도체 웨이퍼에 집적 회로 구조를 만드는 프로세스를 용이하게하도록 설계된 전문 기계입니다. 이 전문 등급의 기계에는 4 사분면 기하학 레티클 장비가 장착되어 있으며, 미세한 리소그래피 패턴을 정확하고 정확하게 정렬합니다. 웨이퍼 스테퍼의 최대 모터 스테이지 해상도는 0.02äm이며, 직경 50mm ~ 200mm의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. +/-15 도의 기울기 각도를 지원하는 NIKON NSR-1755G7A와 함께 어려운 정렬 각도에 도달 할 수 있습니다. 이 NIKON 장치는 여러 아크 램프 조명 소스 및 고급 광학 시스템과 호환됩니다. 또한, 수차 보정을위한 고급 요소를 사용하여 고정밀 포지셔닝 및 모터 제어를 제공합니다. NSR-1755 G7A (NSR-1755 G7A) 는 또한 이러한 복잡한 작동을 제어하기위한 다양한 알고리즘을 가지고 있으며, 진동 및 기압 변동으로 인해 발생할 수있는 오류를 보상합니다. 이 시스템은 또한 직관적 인 MFPME (Multi Function Pattern Matching Examination) 소프트웨어의 도움을 받았으며, 이 과정에서 더욱 정확성과 안정성을 제공합니다. 또한, 컴퓨터에는 고급 FPDM (Fine Pattern Defect Monitor) 장치가 장착되어 있으며, 이 장치는 웨이퍼를 스캔할 때 고급 감지 기능이 제공됩니다. NSR-1755G7A는 또한 고유한 "PPP" 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 사용자에게 여러 패턴 사전 처리 옵션을 제공합니다. 여기에는 패턴 관리, 중복 보상, 기타 여러 패턴 조작 기능이 포함됩니다. 전반적으로 NIKON NSR-1755 G7A는 정확하고 정확한 웨이퍼 스테퍼로, 스캐닝 성능이 우수합니다. 최장 200mm 직경의 웨이퍼 (wafer), 최소한의 변형 또는 오류, 심지어 어려운 정렬 각도에서도 우수한 결과를 기대할 수 있습니다. 또한 고급 광학 시스템 (Optical System) 과 신뢰할 수있는 알고리즘과 통합되어 정확한 결함 감지 및 정확한 패턴 사전 처리가 가능합니다. 이 기계는 고품질, 정확한 회로 패턴 (최소 결함 및 오류) 을 생성하는 데 적합합니다.
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