판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9299960

NIKON NSR 1505 i7A 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치의 대량 생산을 위해 설계된 고급 고정밀 리소그래피 장비입니다. NIKON NSR-1505I7A 는 탁월한 성능을 제공하며, 포토 마스크 및 기타 제품의 중저량 증착에 이상적입니다. 완전하게 자동화된 고속 체인저 로더/언로더를 통해 웨이퍼, 마스크, 플레이트, 기판을 동시에 교환할 수 있습니다. NSR 1505 I7A에는 NIKON 최첨단 CCD 광시야각 이미징 시스템과 고급 옵틱이 장착되어 있어 웨이퍼 및 포토마스크를 정확하게 광 정렬할 수 있습니다. 이미징 시스템을 사용하면 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 이 가능하므로 매우 작은 장치 기능 크기를 매우 정확하게 해결할 수 있습니다. CCD 이미징 시스템은 2 개의 렌즈 세트와 리소그래피에 최적화된 고해상도 CCD 카메라로 구성됩니다. CCD 카메라의 최대 이미징 면적은 256mm x 256mm로 모든 표준 포토 마스크 및 웨이퍼 크기를 지원합니다. 카메라를 사용한 웨이퍼 매핑, 모서리 감지, 정렬 등을 통해 마스크와 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 장치는 또한 저항제 제거 시간을 줄이고 저항제 소비를 최소화하도록 설계된 고성능 챔버 원 (Chamber One) 저항기를 갖추고 있습니다. 여기에는 효과적인 저항 제거를위한 고진공 챔버, 1 단계 전사 도구 및 고압 이산화탄소 제트 자산이 포함됩니다. 이 모델은 또한 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 우수한 균일성 (unifority) 으로 매우 정확한 저항성 노출을 제공하도록 설계된 높은 정확도 노출 장비를 갖추고 있습니다. NIKON NSR 1505 I 7 A에는 웨이퍼 및 포토 마스크의 부드럽고 정확한 배치 및 이동을 지원하는 고정밀 스테이징 시스템도 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 및 사진 배치를 정확하게 조정하기 위해 고속 셰이커 (shaker) 및 고해상도 액츄에이터 (actuator) 가 포함되어 있습니다. 스태이징 머신 (staging machine) 에는 중요한 작업에 대해 수동 웨이퍼 제거를 활성화하면서 여러 웨이퍼를 지원하도록 조정할 수 있는 확장 가능한 웨이퍼 (wafer) 추적 도구도 장착되어 있습니다. 또한 NSR 1505 I 7 A 에는 결함을 감지하고 정확한 정렬 및 이미지 보정을 수행할 수 있는 특수 검사/정렬 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델은 2 미크론 미만의 입자를 감지 할 수 있으며, 빠르고 정확한 정렬을 위해 NIKON 다단계 패턴 인식 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 증착 후 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 노출 프로세스 (exposure process) 를 지원하여 프로세스의 최고 품질을 보장합니다. NIKON NSR 1505 I7A는 중소량 리소그래피 작업에 적합한 고급 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 생산에 대한 뛰어난 정확성과 균일성을 제공하며, 완전 자동화된 교환 장치 및 고성능 저항 검색 및 검사 시스템을 통해 효율적이고 일관되게 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.