판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9226277

NIKON NSR 1505 i7A
ID: 9226277
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6" 1990 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 높은 해상도와 반복성으로 반도체 웨이퍼의 표면을 패턴화하도록 설계된 정밀 장치입니다. 그것 은 여러 가지 "이미지 '무늬 를" 웨이퍼' 표면 으로 옮기는 능력 을 갖춘 종합 기계 이다. 스테퍼는 Nikons 7A i-line 광학 벤치를 기반으로하며, 여러 이미징 렌즈를 사용하여 25nm까지 광범위한 이미지 해상도를 생성합니다. 웨이퍼 스테퍼는 300mm (12 인치) 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최고 해상도의 이미징을 위해 긴 노출 시간으로 매우 효율적입니다. 이 스테퍼는 또한 다양한 기판 (기판) 과 광저항 재료 (photo-resist materials) 와 호환되므로 반도체 산업 내에서 다양한 용도로 적합합니다. NIKON NSR-1505I7A 웨이퍼 스테퍼에는 기능이 포함되어 있습니다. 단일 및/또는 다중 웨이퍼에 대한 수동 (manual) 및 지그 (jig) 팔레트를 모두 지원하며 최적의 이미징 처리를 위해 견고하게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 이중 축 동기화 모터 스테이지 (motorized stage) 를 사용하여 높은 정렬 정확도와 반복 성을 위해 0.5m에 달하는 XY 스테이지 정확도를 제공합니다. 냉각 및 난방 기능 외에도, 스테퍼에는 최대 수율을 보장하기 위해 웨이퍼 지형을 검사하는 온보드 옵틱 (optic) 이 있습니다. 스캐너는 0.7 초 노출 시간으로 19 초 시야를 허용하며, 패턴 전송 요구 사항을 향상시킵니다. NSR 1505 I7A 웨이퍼 스테퍼는 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 설계되었습니다. 기내에는 "녹색" 에너지 절약 디자인이 있으며, 다른 시스템보다 최대 75W 적은 전력을 사용합니다. 또한 고급 공기 필터 시스템 (Air Filter System) 과 전자 제어 시스템 (Electronic Control System) 이 있으며, 둘 다 입증 된 안전 점검표의 일부입니다. 최고의 효율성과 성능을 보장하기 위해 NIKON 은 NSR 1505 i7A 웨이퍼 스테퍼를 위한 서비스 및 유지 보수 옵션을 제공합니다. 적절 히 사용 하면, 이 기계 는 여러 해, 여러 해 동안 정확 하고, 믿을 수 있고, 반복 할 수 있는 표면 영상 을 제공 한다.
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