판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9226273

NIKON NSR 1505 i7A 는 사전 마이크로 구성 응용 프로그램에서 고해상도 리소그래피에 최적화된 완전 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 뛰어난 성능 기능을 갖춘 정교한 디자인을 갖추고 있습니다. NIKON NSR-1505I7A에는 넓은 작업 공간 영역이 있으며 최대 7 "웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 스테퍼는 통합 이미징 기술과 최첨단 옵틱스 (Optics) 를 통해 높은 현장 평면도를 갖춘 매우 정확하고 일관된 패턴을 만들 수 있습니다. 서브 미크론 패턴 정확도가 가능하며, 0.25äm의 낮은 해상도를 달성 할 수 있습니다. 그리고 초점 (field focus) 범위의 깊이가 크면 최대 5µm의 기능을 생성 할 수 있습니다. 또한 렌즈 정렬을위한 고급 교정 루틴 (advanced calibration routine) 이 있으며, 각 노출 주기에 최적의 해상도와 이미지 위치를 허용합니다. NSR 1505 I7A 는 또한 웨이퍼 X, Y, Z 축을 제어하기 위한 컴퓨터 제어 스테이지와 웨이퍼 방향을 지정하기 위한 고정밀 회전 스테이지를 갖추고 있습니다. 이 정밀 단계의 확장 스트로크 거리는 350mm이며, 최대 스캐닝 속도는 최대 350mm/s입니다. 또한, 이 스테퍼에는 노출 중 웨이퍼 고정 장치를 고정하기위한 정밀 진공 척 (vacuum chuck) 이 포함되어 있습니다. NSR-1505I7A 는 또한 온보드 처리 인프라를 통해 설정 및 주기 시간을 단축합니다. 2 단계 스핀 코터 및 베이크 공정을 갖춘 자동 웨이퍼 처리 시스템 (Automatic Wafer Handling System) 과 처리량 향상을 위한 자동 재료 전송 시스템 (Automated Material Transfer System) 이 있습니다. NSR 1505 I 7 A는 유연성과 정확성 외에도 친환경적인 스테퍼입니다. 저전력 소비량, 저열생산 (Low Heat Production) 을 가지고 있으며, 실험실 및 청소실 환경에서 사용 편이성을 위해 거의 조용하게 작동 할 수 있습니다. 고급 기술을 통해 NIKON NSR 1505 I7A는 안정적이고 효율적인 리토그래피 수행 방법을 제공합니다.