판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9226271
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NIKON NSR 1505 i7A (고급 웨이퍼 스테퍼) 는 높은 수준의 정확도와 정확도가 필요한 고급 반도체 생산에 사용됩니다. 고유한 DSS (Dynamic Scan Equipment) 와 I-line Optical Pattern Generator를 통해 고속, 정확한 웨이퍼 패턴을 구현할 수 있습니다. NIKON NSR-1505I7A에는 고해상도 CRT (Cathode Ray Tube) 가 장착되어 있어 민감한 이미지 출력이 가능합니다. 고해상도 스테퍼 렌즈 (stepper lens) 조립과 2.4 배 감소 렌즈는 수차 오류를 줄이면서 정확도와 수율을 증가시킵니다. NSR 1505 I7A 는 고속 디지털 이미징 컨트롤러에 의해 제어되므로, 그 어느 때보다 뛰어난 정확성과 속도를 제공합니다. NSR 1505 I 7 A는 2 인치, 4 인치, 6 인치 및 8 인치 웨이퍼에서 다양한 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며, 기판 적재 및 언로드를위한 완전한 자동 처리가 가능합니다. i-Line, G-Line 및 I-Plus 파장을 사용하여 스테퍼 노출이 가능하며 4-6 초 노출시 8 ~ 10 mJ/cm2의 노출 수준을 생성 할 수 있습니다. 핸드 틸트 웨이퍼 스테이지는 얇은 칩 또는 TSV (through-silicon via) 와 같은 고유 한 웨이퍼 요구 사항에 대한 쉬운 다이 정렬 및 교정을 가능하게합니다. NSR-1505I7A 의 스캔 속도는 최적화되어 있으며, 최대 스캐닝 속도는 30mm/sec 입니다. 이로 인해 처리량이 향상되어 대용량 생산에 필수적입니다. 또한 추가 장비에 대한 수요도 줄입니다. 또한 NIKON NSR 1505 I7A 는 전체 시스템을 지속적으로 모니터링하기 위한 포괄적인 자가 진단 및 웨이퍼 추적 기능을 갖추고 있습니다. 즉, 운영 프로세스에서 높은 수준의 유닛 성능과 무중단 업무 운영을 보장하는 데 도움이 됩니다. NIKON NSR 1505 I 7 A는 또한 모든 컴퓨터 기능에 쉽게 액세스 할 수있는, 혁신적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 NSR 1505 i7A 는 다양한 고성능 기능을 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 고급 반도체 생산에 이상적인 솔루션입니다. 속도, 정확도, 다용도 모두 "신뢰성 '과" 고품질' 웨이퍼를 생산할 수 있고, 직관적인 사용자 인터페이스와 포괄적인 진단을 통해 높은 수준의 도구 성능을 보장할 수 있습니다.
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