판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9226270

NIKON NSR 1505 i7A (Advanced Wafer Stepper) 는 다양한 마이크로디바이스 제작에서 Photomask를 패턴화하는 데 매우 정확하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 기계는 190 nm 라인/공간 크기의 장치를 생산 및 검사 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 OVP (OpenValuePhotomask) 소프트웨어와 호환되는 통합 장비를 제공하여 효율적인 설정 절차를 통해 사용이 간편한 자동 플랫폼을 제공합니다. NIKON NSR-1505I7A는 5축, 병렬 빔, 조명 마스크 스캔 시스템으로, 고해상도 투사 렌즈를 사용하여 이미지를 마스크 또는 웨이퍼에 집중시킵니다. x 축 및 y 축 방향으로 40mm의 필드 크기를 제공하며 100 nm 이하의 패턴화에 사용할 수 있습니다. 본딩 (bonding) 옵션을 사용하면 마스크 생산 비용을 절감할 수 있으며, 따라서 머신이 더 높은 볼륨 생산에 이상적인 선택이 될 수 있습니다. NSR 1505 I7A는 양면 노출이 가능하며, 양쪽에 독립적 인 노출 헤드가 있습니다. 조절 가능한 열 제어 장치 (heat control unit) 는 프로세스 제어를 향상시키기 위해 정확한 프로세스 온도를 보장합니다. 내장형 정렬 머신을 사용하면 정확한 오버레이 (overlay) 분석을 통해 웨이퍼에 다른 패턴을 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 기계는 자동 마스크 전송 (Automatic Mask Transport) 및 웨이퍼 전송 (Wafer Transfer) 과 같은 기능과 정확하고 빠른 웨이퍼 중심을 위한 자동 웨이퍼 척 (Wafer chuck) 포지셔닝 메커니즘을 제공합니다. 또한 NIKON NSR 1505 I7A 에는 70 nm 정도의 작은 마스크 기능을 식별 할 수있는 고해상도 측정 기능이 있습니다. i7A에는 마스크와 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 웨이퍼 대 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 균일성을 향상시킬 수있는 3 차원 자동 초점 도구가 장착되어 있습니다. 궁극적으로 NSR-1505I7A 는 강력하고, 정확하며, 확장성이 뛰어난 웨이퍼 스테퍼로서, 탁월한 결과를 제공하는 비용 효율적인 운영 프로세스를 제공합니다. 고급 자동화 기능과 고가용성 광학 자산 (Optical Asset) 을 활용하는 이 머신은 고급 마스크 제작 및 검사를 위한 탁월한 솔루션입니다.