판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9226269

NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper는 NIKON Corporation의 고성능 리소그래피 툴로, 다양한 microfabrication 프로세스에 적합합니다. NIKON NSR-1505I7A 는 NIKON NSR 의 lithography 툴 제품군을 기반으로 하며, 전체 기판에서 패턴 전송을 위한 탁월한 정확성을 제공합니다. 스테퍼에는 2 개의 독립적 인 노출 챔버가 장착되어 있으며, 이들 각각은 8 인치 웨이퍼를 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 따라서, 정확한 제어와 최고의 생산성을 필요로 하는 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 이 장비는 모든 종류의 칩과 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 을 생산하는 데 사용될 수 있으며, 유연한 조명 시스템은 패턴 반복 성과 스텝 앤 스캔 (step-and scan) 작업을 허용합니다. 또한 NSR 1505 I7A 는 웨이퍼 처리 기능 외에도 뛰어난 제어 및 감지 기능을 제공합니다. 고급 정렬 장치는 Active Target Detector 및 Reference Target Detector 를 모두 사용하여 패턴 전송 정확도에 대한 최대 정밀도를 확인합니다. 또한 기판이 최적의 초점 범위에 유지되도록 정확한 초점 탐지 기계 (focus detection machine) 를 제공합니다. 통합 조리개 도구를 사용하면 노출 필드 크기와 모양을 세밀하게 조정할 수 있습니다. NSR 1505 i7A는 기능 크기가 0.3 미크론까지 떨어지는 패턴을 생산할 수 있으며, 1 미크론 선 및 공백이있는 영역에서 전체 패턴 정확도는 0.1 미크론입니다. 보다 높은 정확도와 처리량을 위해 에셋에는 오버레이 분석 (Overlay Analysis) 알고리즘이 내장되어 있습니다. 이 기능은 패턴 전송 프로세스 (pattern transfer process) 의 품질을 빠르게 평가하고 조정할 수 있게 해 주며, 운영 주기의 시간 (time) 과 자원 (resource) 을 절약해 줍니다. 안전 측면에서 스테퍼는 OHSAS 18001 및 ISO14001 표준에 따라 설계되었습니다. 높은 공정 온도로부터 노출 된 부품을 보호하기 위해 고효율 냉각 모델이 있습니다. 또한 비상시 정지 (Emergency Stop) 버튼이 내장되어 있어 사용자의 안전성을 극대화할 수 있습니다. 결론적으로 NSR 1505 I 7 A Wafer Stepper는 다양한 microfabrication 프로세스에 적합한 고성능 석판 도구입니다. 즉, 정확한 제어, 정확성, 속도를 제공하므로 다양한 운영 및 엔지니어링 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 높은 수준의 안전 (Safety) 및 보호 (Protection) 기능을 제공하여 모든 운영 환경에 적합한 솔루션입니다.