판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #293634869
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ID: 293634869
웨이퍼 크기: 4"
i-Line stepper, 4"
Non-funtional parts:
Circuit boards: A-5, A-9, A-13, A-17, A-19, A-23, A-34, A-35
(3) Motor modules RT
Z/Theta stage motor module
Stage screw
X-Y Axis motor
Mercury lamp base
Power supply of each module
Wafer and reticle handler of module motor
FIA.
NIKON NSR 1505 i7A는 가장 까다로운 석판 요건을 충족하도록 설계된 최첨단 Deep-UV 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 뛰어난 오버레이 정확도, 다양한 노출 도구, 최대 7 인치 (직경) 크기의 웨이퍼 처리 기능 등을 제공합니다. NIKON NSR-1505I7A는 강력한 디지털 제어 5 mW I-line ArF 레이저를 사용하여 다양한 노출 용량을 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 비 직교 왜곡에 대한 고급 스캔 필드 병합 기능을 제공하여 우수한 성능과 정확도를 제공하는 통합 NFC (Near-Field Correctors) 사진 감축 장치 (Near-Field Correctors) 가 장착되어 있습니다. 이것은 탁월한 균일성, 수차 감소, 고해상도를 제공하는 혁신적인 비행기 파동 조명기의 도움을받습니다. 또한 NSR 1505 I7A 는 모든 노출 조건과 애플리케이션에 대해 탁월한 정렬 정확도를 제공하는 대용량 정렬 (high capacity alignment) 툴을 갖추고 있습니다. 정렬 에셋에는 고해상도 Sub-Micron 플랫폼과 특허 출원 중인 ASRA (Automatically Selectable Reticle Alignment) 모델이 포함됩니다. 또한 ASRA 장비 (ASRA Equipment) 는 모든 샘플이 정확하게 정렬되도록 고급 오버레이 측정을 제공합니다. NSR 1505 I 7 A 의 노출 시스템은 다양한 크기, 두께, 노출 요구 사항의 웨이퍼를 처리하도록 구성 될 수도 있습니다. 이는 특허 출원 중인 가변 조정 옵션 (Variable Tuning Option) 을 사용하여 수행되며, 이 옵션은 신속하게 설정할 수 있으며 각 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 또한 NIKON NSR 1505 I7A 에는 광범위한 규정 준수 및 노출 테스트가 있습니다. 여기에는 높은 정확도의 Overlay 측정, Exposure Verification 테스트 및 다양한 Wafer Exposure Uniformity 테스트를 수행할 수 있습니다. 결론적으로, NSR-1505I7A 는 다양한 노출 도구를 갖춘 뛰어난 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장치이며, 최대 7 인치 크기의 웨이퍼를 처리하는 기능입니다. 고급 노출 기계, NFC 사진 감소 도구, 특허 출원 중인 Variable Tuning Option 및 Overlay 측정, Exposure Verification 테스트 및 다양한 Wafer Exposure Uniformity 테스트를 통해 NSR 1505 i7A는 까다로운 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 이미징 자산입니다.
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