판매용 중고 NIKON NSR 1505 i6A #9281881

NIKON NSR 1505 i6A는 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 150mm 크기의 고해상도 패턴을 만들 수있는 초소형 광선 추적 석판 시스템입니다. NSR 1505 i6A는 통합 KrF (Krypton Fluoride) 엑시머 레이저 광원을 사용하여 200nm 이하의 해상도를 사용할 수 있습니다. KrF 및 ArF (Argon Fluoride) 레이저와의 호환성은 저렴한 장치 생산을 가능하게하며 혁신적인 i 라인 중심 다중 조명은 향상된 기능 정확성과 해상도를 제공합니다. NIKON NSR 1505 i6A는 1024ch 디지털 인코더, 높은 정확도 정렬 및 고급 레티클리스 프로그래밍 가능한 단계를 조합하여 간단하고 정밀한 정렬 및 노출을 제공합니다. "이미지 페어 '인식" 시스템' 을 갖추었기 때문 에 재료 를 정확 하게 조정 할 수 있으므로, 시력 "시스템 '의 필요성 을 제거 할 수 있다. 또한 400mm/s의 최대 스테이지 스캔 속도는 노출 시간을 크게 줄입니다. 또한 NSR 1505 i6A에는 두 개의 사용자 정의 가능한 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. ASTC (Automated Stepper Controller) 는 실시간 노출 제어를 허용하고 ALC (Automated Lithography Coordinator) 는 프로세스 매개변수의 다중 다이 패턴화와 최적화를 지원합니다. 사용자 친화적 인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 빠르고 간편하게 작동할 수 있으며, 안심할 수 있는 유선 지연 (wire-delay) 보상은 가능한 가장 높은 하드웨어 정밀도를 보장합니다. 또한, NIKON NSR 1505 i6A 는 외부 장착형 커넥터를 통해 해당 기능으로 업그레이드할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 추가 구성요소로 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 은행을 파기하지 않고도 효율적인 생산성을 높일 수 있습니다. 높은 수준의 작동성, 부드러운 웨이퍼 처리, 최적화된 웨이퍼 정렬은 수년 동안 안정적이고 효율적인 작동을 보장합니다. 따라서, NSR 1505 i6A는 고급적이고 비용 효율적인 리소그래피에 적합한 선택입니다.