판매용 중고 NIKON NSR 1505 i6A #293817954

NIKON NSR 1505 i6A는 석판 공정을 위해 설계된 고성능 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 디지털 서보 모터, 클로즈드 루프 (closed-loop) 옵티컬 렌즈 장비, 견고한 홀더 감지 기능 등 다양한 최첨단 기능을 갖추고 있습니다. NSR 1505 i6A 는 1.3 "m '해상도, 최소 누락 된 워드 1.0" m', 완전 자동 정렬 및 미리 정해진 노출 용량을 정확하게 반복 할 수있는 이미지를 생성 할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 i6A의 광학 시스템에는 Digital Servo 모터가 장착 된 특허 대형 조리개, 고수치 조리개 (NA) 렌즈 장치가 포함되어 있습니다. 디지털 서보 (Digital Servo) 모터를 사용하여 기계는 고정밀도 초고밀도 작업을 수행하고 최고 속도, 정확도 및 해상도를 얻을 수 있습니다. NSR 1505 i6A 의 홀더 감지 기능 (holder-sensing capability of NSR 1505 i6A) 은 또한 도구가 웨이퍼 홀더 표면 레벨의 정확한 변화를 감지하기 때문에 노출 용량의 정확한 반복이 필요할 때 매우 유용합니다. NIKON NSR 1505 i6A 는 이미징해야 하는 기능에 따라 최대 1.3 m 의 고해상도 이미지를 생성할 수 있습니다. 또한 정렬 프로세스를 간소화하고 손쉽게 처리할 수 있도록 하는 완전 자동 정렬 (Fully Automated Alignment) 에셋도 갖추고 있습니다. 이 모델은 또한 균일 한 노출 용량을 제공하며, 이는 높은 광석기 학적 프로세스 안정성을 보장합니다. 50 ~ 200mm 크기의 다양한 웨이퍼와 다양한 포토 마스크 크기를 수용 할 수 있습니다. 간단히 말해, NSR 1505 i6A는 고정밀 석판 공정을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 디지털 서보 (Digital Servo) 모터가 장착 된 High-NA 렌즈 장비, 홀더 감지 기능 및 정밀 용량 반복성을 위한 완전 자동화 정렬 시스템이 특징입니다. NIKON NSR 1505 i6A 는 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 수용할 수 있으며, 노출 용량으로 균일한 최대 1.3 m 크기의 고해상도 이미지를 만들 수 있습니다. NSR 1505 i6A 의 다양한 기능을 통해 가장 정밀한 석판 공정을 선택할 수 있습니다.