판매용 중고 NIKON NSR 1505 i10D #146913

NIKON NSR 1505 i10D는 반도체 칩 생산을위한 고정밀 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 옵토메카트로닉 (optomechatronic) 기술이 적용되어 까다로운 대용량 리소그래피 요구를 위한 정확성과 처리량을 제공합니다. NSR 1505 i10D는 10nm 레이저 패턴, 1nm 오버레이 정확도 및 250mm 필드 영역을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 당 1 ~ 3 개의 패턴 레이어를 빠르고 정확하게 노출 할 수 있으며, 1mm C 모양의 스테이지는 스테이지 스트레스와 진동 유발 패턴 배치 오류를 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 뛰어난 조명을위한 고급 단각 조명 시스템 (single-angular lumination system) 이 제공되어 매우 밀도가 높은 패턴화가 가능합니다. NIKON NSR 1505 i10D의 옵토 메카트로닉스는 뛰어난 리소그래피 성능을 제공합니다. 독점적 인 4 미크론 피에조 (piezo) 구동 선형 모션 스테이지가 특징이며, 이는 안정성이 높은 웨이퍼와 스테이지의 동시 움직임을 보장합니다. 또한, 웨이퍼 스테이지 기반 접근 방식은 스테퍼의 보상 범위를 250m까지 확장하고 로컬 및 글로벌 왜곡에 대한 효율적인 즉석 보상 (on-the-fly compensation) 을 허용합니다. 또한, NIKON InCelli Transfer Technology는 외부 전송 장치의 필요성을 제거하여 스테퍼의 설치 공간을 줄이기 위해 비접촉 웨이퍼 (non-contact wafer) 전송을 제공합니다. 매크로 미리보기 (macro-preview) 기능은 노출 전에 레이아웃의 주요 피쳐를 분석하고 글로벌 패턴 왜곡을 보완하는 한편, 적절한 초점과 오버레이 (overlay) 값을 선택하여 노출 전략을 최적화합니다. NSR 1505 i10D는 또한 입자가없는 패턴화의 개선을 위해 설계된 특수 조명 헤드와 함께 제공됩니다. 이것은 오일 프리 (Oil-free) 입자와 포토리스 스틱 믹싱 (photoresist mixing) 으로 인한 입자를 감소시키는 데 도움이되며, 바이 패스 검사 성능을 향상시키기 위해 3 빔 동시 조사를합니다. 동급 최강의 툴 가용성과 효율적인 유지 보수 (Interruption Hour) 를 제공하는 포괄적인 서비스 패키지가 지원됩니다. 스테퍼의 사용자 친화적 환경에는 하이엔드 PASIV ™ GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 광범위한 운영 사용자 정의 가능성이 포함됩니다. 전반적으로 NIKON NSR 1505 i10D는 반도체 칩 생산을위한 고급적이고 정밀한 웨이퍼 스테퍼이며, 최첨단 옵토메카트로닉 (optomechatronic) 기술을 통해 까다로운, 대용량 리소그래피 요구를 위한 탁월한 정확성과 처리량을 제공합니다.