판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #9386319
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ID: 9386319
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6"
ASAHI S75 Chamber
Chamber temperature: 23°C
Fixed reticle microscope, 15mm
PDP-11/73 Computer
HP 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera
Wafer condition: Silicon
OF Detection
Wafer loader: Type 1
Wafer carrier table: Left / Right
Reticle, 5"
No lens data
Rack type: Right
Electric source: NEMA Box
CVCF
1/2 Switch
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7E 는 NIKON 의 고성능 웨이퍼 스테퍼로서, 석판화 애플리케이션에 뛰어난 정확성과 처리량을 제공합니다. 패턴 배치 정확도는 업계를 선도하는 ± 4 äm, CD 균일성은 ± 10 nm 인 클래스의 가장 진보 된 스테퍼입니다. CAROS (Superchromatic Aberration Reduction Optical Equipment) 로 제작 된이 제품은 뛰어난 이미징 품질과 최고 수준의 패턴 충실도 및 반복 성을 제공합니다. NIKON NSR-1505G7E는 최대 250W의 광원, 다중 노출 모드 및 노출 에너지 7을 갖추고 있습니다. 5.5 인치 x 5.5 인치의 대형 광학 필드와 140 nm 이하의 향상된 해상도를 가지고 있습니다. 스테퍼는 수차 값이 크게 감소된 낮은 렌즈 왜곡 및 투사 정확도 차이로 특징 인 뛰어난 패턴 개발을 위해 독특한 RCAS (Robust Corrective Algorithm Shaping) 광학 시스템을 사용합니다. 노출 정확성을 위해 G7E는 최고의 에지 링 및 왜곡 속성을 유지하기 위해 실시간 피드백을 제공하는 혁신적인 "노출 비율 모니터 (Exposure Ratio Monitor)" 를 제공합니다. NSR-1505 G7E에는 조명 스펙트럼을 쉽게 변경할 수있는 자동 dichroic 색상 필터 터릿이 포함되어 있습니다. 또한 필드 평면도 보정을 단순화하는 자동 초점 장치 (auto-focus unit) 와 높은 정확도 웨이퍼 스캐닝을 지원하는 가변 레이저/필드 내 평면도/보정봉 (correction rod) 이 장착되어 있습니다. 최적의 노출 에너지 설정 및 레시피 개발을 제공하는 "Best-Fit Principle" 에 의해 G7E의 노출 정확도가 더욱 향상되었습니다. NSR 1505 G7E의 다른 기능으로는 공랭식 초점면 셔터, 자동 웨이퍼 정렬 기계, 원하는 해상도에 맞는 2 단계 웨이퍼 속도 조정, 더 나은 데이터 관리 및 보안을 제공하는 온보드 OS 등이 있습니다. 뛰어난 이미징과 정확도를 제공함으로써, G7E는 웨이퍼 스테퍼 기술의 업계 표준입니다. Fabless Chip Manufacturing에서 MEMS, Nano-Lithography, Micro-Electronic Production 등 고급 이미징 솔루션에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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