판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #9261836

NIKON NSR 1505 G7E는 반도체 장치 생산, OLED 장치 구조 제작, 각인 리소그래피 등 다양한 석판 응용 프로그램에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 뛰어난 정렬 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되어 정확한 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝과 정확한 패턴 기능을 제공합니다. NIKON NSR-1505G7E 는 풀 필드 다이오드 레이저 정렬 장비 (full field diode laser alignment equipment) 를 갖추고 있어 노출된 필름 정렬이 더욱 정확합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 컴팩트한 디자인은 석판화 제작을위한 작고 효율적인 플랫폼을 제공하며, 시간당 최대 150 웨이퍼 (wafer) 까지 처리하여 높은 처리량과 빠른 생산 시간을 보장합니다. NSR-1505 G7E는 한 번에 최대 150 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 5 축 동력 스테이지를 갖추고 있습니다. 이 5 축 시스템에는 전동 선형 및 회전 단계가 포함되어 있으며 X, Y 및 R 축에서 최대 단계 이동은 100mm입니다. 또한 측면 단계 이동은 X 및 Y 축에서 최대 200mm 할 수 있습니다. 통합 광학 장치를 사용하면 초점 평면에 각 노출 점을 높은 정확도로 배치 할 수 있습니다. 또한 광학 시스템 (Optics Machine) 을 사용하면 각 노출에 대한 노출 위치, 배율, 필드 크기를 조정할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR-1505 G7E는 선택 가능한 해상도 (1 또는 5 um) 를 제공하여 사용자가 더 높은 정확도 또는 더 높은 노출 정확도 중에서 선택할 수 있습니다. NSR 1505 G7E에는 통합 뒷면 조명 도구와 자동 뒷면 들여쓰기 탐지가 있습니다. 이 뒷면 조명 에셋 (backside lighting asset) 은 필름 노출 중에 더 높은 명암을 제공하며, 사용자가 있을 수 있는 모든 뒷면 피쳐를 보고 검사할 수 있습니다. 자동 백사이드 밀어맞춤 (backside indentation) 감지 모델은 백사이드 들여쓰기 (backside indent) 나 결함을 감지하여 노출 품질에 영향을 줄 수 있습니다. NSR-1505G7E 는 또한 특허 받은 초 저 관성 환경 격리 (ultra-low inertial environment isolation) 구조로 웨이퍼 스테퍼의 뛰어난 작동을 제공합니다. 이 구조는 광학 장비 (optical equipment) 를 일시 중단하여 환경으로부터 진동이나 충격 (shock) 을 없앨 수 있도록 설계되었습니다. 또한 NIKON NSR 1505 G7E는 웨이퍼 레벨, 칩 레벨 및 서브미크론 레벨 노출을 통해 리소그래피 생산의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 이 비용 효율적이고 고성능 웨이퍼 스테퍼는 모든 리소그래피 생산 요구에 이상적인 선택입니다. NIKON NSR-1505G7E 는 다양한 칩 구조에 대해 정확도가 높은 노출을 제공하고, 매번 뛰어난 성능을 지속적으로 제공할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 발이 낮고 성능이 우수하여 리소그래피 제작에 적합합니다.