판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #9195757

NIKON NSR 1505 G7E 웨이퍼 스테퍼는 반도체 집적 회로 처리를 위한 고급 정밀 노출 장비입니다. 특히 대량생산을 위해 설계되었으며, 신뢰성이 높은 듀얼 빔 시스템 (dual beam system) 을 통해 빠르고 정확한 웨이퍼 노출을 수행할 수 있습니다. G7E의 해상도는 0.5 µm이며, 180mm 이상의 배율과 함께 사용할 때 13 배 감소를 제공합니다. 이것은 현대 생산 노드에서 훌륭한 패턴화에 이상적입니다. 이 제품은 다이-투-다이 해상도 (die-to-die resolution) 프로파일 모니터를 장착하여 각 샷 앞뒤의 노출 용량을 정확하게 측정하여 적절한 노출을 보장합니다. 또한 G7E 는 고속 계층화 모드를 제공하여 빠른 웨이퍼 처리를 지원합니다. 이 장치에는 다양한 렌즈 오프셋과 필드 마그가 제공됩니다. 이렇게 하면 전체 웨이퍼 영역 (Wafer Area) 에서도 낮은 패턴에서 중간 수준의 패턴을 매우 정확하게 노출할 수 있습니다. G7E는 장거리 노출 모드를 제공하여 장거리 노출을 허용하고 OACS (Optical Aberrations Correction Machine) 는 최고 정밀도를 보장합니다. 또한, 이 도구의 광학은 교정 메커니즘이 내장되어 있어 유지 보수 담당자가 교정 확인 (calibration check) 과 조정 (adjustment) 을 신속하게 수행할 수 있습니다. G7E 는 완전 자동화된 비전 (vision) 자산을 통합하여 종합적인 웨이퍼 검사 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델은 사이클 타임 최적화 장비 (Cycle Time Optimization Equipment) 를 갖추고 있으며, 작업 중 가동 중지 시간을 줄이고 웨이퍼 두께와 크기를 모니터링하는 인라인 (In-Line) 웨이퍼 도량형 시스템을 제공합니다. G7E 는 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 갖추고 있으며, 램프 (ramp-up) 주기 단축을 돕기 위해 통합 시퀀스 변환 장치 (integrated sequence translation unit) 를 제공하여 설계 데이터를 자동으로 프로덕션 친화적 형식으로 변환합니다. 게다가, 즉시 피드백 머신 (instant feedback machine) 을 장착하여 노출 창의 진행 상황에 대한 실시간 정보를 제공합니다. NIKON NSR-1505G7E 웨이퍼 스테퍼는 현재 시장에서 사용 가능한 가장 고화질의 노출 시스템 중 하나입니다. 고정밀 옵틱, 내장형 교정 메커니즘, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 도구는 웨이퍼 처리 요구에 적합한 솔루션을 제공합니다.