판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #293717121

NIKON NSR 1505 G7E는 대용량 웨이퍼 처리 설치를 위해 설계된 5축 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR-1505G7E 는 견고하고 정밀도가 높은 리소그래피 (lithography) 를 제공하도록 설계되어 가장 까다로운 운영 환경에서도 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이 제품은 150mm × 150mm 프레임 크기와 XYZ 및 5축 동작에서 40mm 이동으로 설계되었습니다. 스테퍼에는 NIKON original 5-axis Technology가 장착되어 있어 정확성과 처리량이 향상된 3D 이미징이 가능합니다. NSR-1505 G7E는 또한 고속 노출 레이저를 특징으로하며, 이 레이저는 -25 'C에서 + 50' C까지의 확장 된 작동 온도를 제공합니다. 스테퍼에는 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 조명을 생성하기 위해 고정밀 (high-precision) 부품을 사용하여 설계된 고주파 조명 장비가 있습니다. 이 시스템은 5 개의 축 사이에 조절 가능한 에너지 분포를 제공합니다. NIKON NSR-1505 G7E는 또한 일관되고 반복 가능한 기판 정렬을 보장하기 위해 자동 웨이퍼 위치 제어 장치를 제공합니다. 스테퍼에는 8 인치 CIS (Contact Image Sensor) 가 장착되어 있어 웨이퍼에서 개별 이미지의 높이 편차를 감지하고 측정 할 수 있습니다. 이는 0.2 미크론 선 너비 및 접촉 패턴의 요구 사항을 충족시키는 가장 높은 정확도를 보장합니다. 고정밀 확대/축소 훈련기 (옵션) 를 사용하여 정밀도를 향상시키고 선폭 변형을 줄일 수 있습니다. NSR 1505 G7E 는 자동 작동, 무진동 동작 도구, 웨이퍼 에지 자동 정렬, 뛰어난 용량 제어 기능을 제공합니다. 스테퍼는 다양한 웨이퍼 크기와 유형, ArF 레이저 라이트, UV LED, UV 레이저 등 다양한 방사선 소스를 지원하도록 설계되었습니다. 또한, 이 스테퍼는 사용자 친화적이고 고급 제어 소프트웨어로, 생산성 향상과 비용 효율성 향상을 위한 안정성, 정확성 운영 기능을 제공합니다. 작업 데이터를 쉽게 액세스할 수 있으며 실행 (run) 에서 실행 (run) 까지 동일한 결과로 자동 작업을 재현할 수 있습니다. 전체적으로 NSR-1505G7E는 대용량 반도체 Fabs를위한 완벽한 리소그래피 솔루션입니다. 고급 기능으로 인해 업계에서 가장 안정적이고 생산적인 웨이퍼 스텝퍼 (wafer stepper) 중 하나가 됩니다.